[实用新型]连续真空镀膜装置及镀膜系统

说明书

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统，一种连续真空镀膜装置，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，运送机构至少设置有两个，其中至少一个运送机构用于将待镀件输送至进片室内，其中至少另一个运送机构用于将已镀件由出片室输送到外部；进片室的顶部、镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有传送机构。本申请可实现对工件在相邻真空室内的传送，自动化成都高，生产效率高。

技术领域

本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统。

背景技术

目前，现有的真空镀膜工艺均是集中在一个真空室内完成，各步工艺会互相影响，导致镀膜效果差等，且多需人工放置、调整以及从真空室取出工件，生产效率低。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种连续真空镀膜装置及镀膜系统，以解决现有技术中存在的真空镀膜工艺均是集中在一个真空室内完成，各步工艺会互相影响，导致镀膜效果差，且生产效率低的技术问题。

本申请提供了一种连续真空镀膜装置，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；

所述进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，所述第一竖推式插板阀用于控制所述进片室与所述镀膜室相连通或者相隔离；所述镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，所述第二竖推式插板阀用于控制所述镀膜室与所述出片室相连通或者相隔离；

所述运送机构至少设置有两个，其中至少一个所述运送机构用于将待镀件输送至所述进片室内，其中至少另一个所述运送机构用于将已镀件由所述出片室输送到外部；

所述进片室的顶部、所述镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有所述传送机构。

具体地，所述镀膜室设置为内部中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪、自动填料组件和坩埚组件；

所述自动填料组件设置在所述镀膜室的侧壁上，且设置在所述坩埚组件的正上方，所述自动填料组件用于将物料添加到所述坩埚组件内部；所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所述电子枪用于对所述坩埚组件内部物料蒸发；所述镀膜室的腔体内部设置有所述加热组件，所述加热组件用于加快物料蒸发。

具体地，所述自动填料组件包括进料容器、进料开关和驱动组件；

所述进料容器包括储料仓、进料管和出料管，所述储料仓和所述进料管相连通；

所述进料管和所述出料管之间设置有所述进料开关，所述进料开关用于使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开；

所述驱动组件用于驱动所述进料开关运动，以使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开。

具体地，还包括第一抽真空装置，所述第一抽真空装置与所述进片室连通，所述进片室设置为中空结构，所述第一抽真空装置用于对所述进片室抽真空；

所述第一抽真空装置包括第一低温泵、第一罗茨泵和第一机械泵；所述第一机械泵至少设置有三个，其中，至少一个所述第一机械泵与所述第一低温泵连通，所述第一低温泵与所述进片室连通，其中，至少两个所述第一机械泵与所述第一罗茨泵连通，所述第一罗茨泵的另一端通过管路分别与所述进片室和第一低温泵连通。

具体地，还包括第二抽真空装置，所述第二抽真空装置与所述镀膜室连通，且所述第二抽真空装置用于对所述镀膜室抽真空；所述所述第二抽真空装置包括第二机械泵、第二罗茨泵、第二低温泵；第二低温泵与所述镀膜室相连通，且设置在所述镀膜室的顶部；所述第二低温泵的另一端与所述第二罗茨泵连通，第二罗茨泵的另一端与所述第二机械泵连通。