[实用新型]连续真空镀膜装置及镀膜系统

权利要求书

1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；

所述进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，所述第一竖推式插板阀用于控制所述进片室与所述镀膜室相连通或者相隔离；所述镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，所述第二竖推式插板阀用于控制所述镀膜室与所述出片室相连通或者相隔离；

所述运送机构至少设置有两个，其中至少一个所述运送机构用于将待镀件输送至所述进片室内，其中至少另一个所述运送机构用于将已镀件由所述出片室输送到外部；

所述进片室的顶部、所述镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有所述传送机构。

2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室设置为内部中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪、自动填料组件和坩埚组件；

所述自动填料组件设置在所述镀膜室的侧壁上，且设置在所述坩埚组件的正上方，所述自动填料组件用于将物料添加到所述坩埚组件内部；所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所述电子枪用于对所述坩埚组件内部物料蒸发；所述镀膜室的腔体内部设置有所述加热组件，所述加热组件用于加快物料蒸发。

3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述自动填料组件包括进料容器、进料开关和驱动组件；

所述进料容器包括储料仓、进料管和出料管，所述储料仓和所述进料管相连通；

所述进料管和所述出料管之间设置有所述进料开关，所述进料开关用于使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开；

所述驱动组件用于驱动所述进料开关运动，以使所述进料管与所述出料管之间连通或者断开。

4.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，还包括第一抽真空装置，所述第一抽真空装置与所述进片室连通，所述进片室设置为中空结构，所述第一抽真空装置用于对所述进片室抽真空；

所述第一抽真空装置包括第一低温泵、第一罗茨泵和第一机械泵；所述第一机械泵至少设置有三个，其中，至少一个所述第一机械泵与所述第一低温泵连通，所述第一低温泵与所述进片室连通，其中，至少两个所述第一机械泵与所述第一罗茨泵连通，所述第一罗茨泵的另一端通过管路分别与所述进片室和第一低温泵连通。

5.根据权利要求2所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，还包括第二抽真空装置，所述第二抽真空装置与所述镀膜室连通，且所述第二抽真空装置用于对所述镀膜室抽真空；所述所述第二抽真空装置包括第二机械泵、第二罗茨泵、第二低温泵；第二低温泵与所述镀膜室相连通，且设置在所述镀膜室的顶部；所述第二低温泵的另一端与所述第二罗茨泵连通，第二罗茨泵的另一端与所述第二机械泵连通。

6.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，还包括第三抽真空装置，所述第三抽真空装置与所述出片室连通，所述出片室设置为中空结构，所述第三抽真空装置用于对所述出片室抽真空；所述第三抽真空装置包括第三低温泵、第三罗茨泵和第三机械泵；所述第三机械泵至少设置有三个，所述第三低温泵设置在所述出片室的底壁上，所述第三低温泵至少设置有两组，且每组所述第三低温泵的数量设置为两个，所述第三罗茨泵至少设置有一个；其中，至少两个所述第三机械泵与所述第三罗茨泵相连通，所述第三罗茨泵的另一端通过管路分别与所述第三低温泵和所述出片室底壁相连通，其中，至少一个所述第三机械泵与所述第三低温泵连通设置。

7.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置，其特征在于，所述传送机构包括：第一电机、第一传递杆、第一同步轮和第一皮带；

所述第一电机的输出轴通过第一皮带与所述第一传递杆连接，所述第一传递杆的一侧两端分别设置有多个第一同步轮，同一侧的多个所述第一同步轮沿第一方向间隔排布，所述第一方向垂直于所述第一传递杆的长度方向，每相邻所述第一同步轮之间通过所述第一皮带连接，所述第一传递杆与所述第一同步轮通过第一皮带连接。