[实用新型]一种用于机械加电解抛光制备微型EBSD试样的装置

说明书

本实用新型的目的在于提供一种用于机械加电解抛光制备微型EBSD试样的装置，该装置包括取样平台和夹持镊子，所述取样平台由两个对称的夹具和两个圆弧柱组成；夹具高度方向上设有凹槽孔；圆弧柱可卡在凹槽孔内，其高度小于夹具高度；圆弧柱通过螺栓紧固在夹具上，两个夹具带有凹槽孔的一面相对设置，并通过螺栓紧固在一起，且两个夹具之间留有空隙；所述夹持镊子尾部设有放样平台，用于放置并固定微型试样。该装置解决了微型试样的难研磨、难抛光的问题，也解决了微型试样在电解抛光过程中试样紧固的问题。该装置提高了微型EBSD试样的制备效率，制样效果优异，样品解析率达90％以上，且适用范围广，适合推广应用。

技术领域

本实用新型属于金属材料分析技术领域，特别提供一种用于机械加电解抛光制备微型EBSD试样的装置。

背景技术

自从EBSD技术从20世纪80年代问世以来，EBSD技术逐渐在金属材料、陶瓷材料、化合物等方面应用。通过EBSD技术可以获得材料的晶粒、亚结构、析出相、微观枳构以及晶粒取向差等信息，对于材料的性能研究等具有重大意义，现在已经被广泛应用于不同结构材料的微观研究。

由于电子背衍射只发生在材料表层几十纳米的范围内，所以对EBSD 试样的制备要求严格，即试样表面平整，无应力，无严重的腐蚀坑等，因为试样表面存在应力，晶格会发生畸变，那么EBSD系统就无法获得准确的菊池花样，导致解析率降低；如果出现严重的腐蚀坑，那么就超过了电子背衍射的范围，也容易导致样品的解析率降低。因此，EBSD测试对样品的制备要求比较高。其次，对于微型的EBSD试样制备要求更高，难点在于对微型试样的研磨、机械抛光，以及在电解抛光过程中微型试样的紧固，同时，难以找到最适合的微型EBSD试样电解抛光工艺。

目前对微型的EBSD试样制备方面的技术较少，而一般制备EBSD试样的方法主要是通过机械抛光+电解抛光，对于常规的机械+电解抛光来说，往往微型的EBSD试样很难制备。比如对于微型试样而言，机械抛光不容易操作，而且由于试样很小，所以对试样的电解抛光方面的要求更加严格，即微型的EBSD试样制备困难，往往制备的样品效果不佳。对于申请号为 201710695101.9的发明专利提供了一种多相合金EBSD分析测试试样的制备方法，该方法的制样成本高，必须在离子减薄仪上才能制备样品，而且制样时间长，制样效率低。

通过机械+电解抛光方式制备微型EBSD试样的方法，是一种简单、容易操作，低成本，制样效率高的制备微型EBSD试样的方法，本实用新型提供了一种用于机械+电解抛光制备微型EBSD试样的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于机械加电解抛光制备微型EBSD试样的装置。该装置主要解决了微型试样的难研磨，难抛光的问题，也解决了微型试样在电解抛光过程中试样紧固的问题。该装置适用范围广，既适合小尺寸的微型试样也适合大尺寸的样品的制备。

本实用新型技术方案如下：

一种用于机械加电解抛光制备微型EBSD试样的装置，其特征在于，所述装置包括取样平台和夹持镊子，其中：

所述取样平台由两个对称的夹具4和两个圆弧柱5组成；夹具4高度方向上设有凹槽孔6；圆弧柱5可卡在凹槽孔6内，其高度小于夹具4高度；圆弧柱5通过螺栓7紧固在夹具4上，两个夹具4带有凹槽孔6的一面相对设置，并通过螺栓7紧固在一起，且两个夹具4之间留有空隙8；

所述夹持镊子尾部设有放样平台，用于放置并固定微型试样。

作为优选的技术方案：

所述夹具4凹槽孔6靠上的位置设有螺栓7，螺栓7平行于水平方向设置，用于紧固放置于圆弧柱5上的镶样样品1。

所述空隙8宽度大于微型试样的长度。

所述夹持镊子由左、右两部分组成：