[实用新型]用于直驱电机的制动装置

说明书

本实用新型涉及一种用于直驱电机的制动装置，直驱电机包括电机定子和电机动子，制动装置包括：电磁铁及对应的吸附件，电磁铁固设于一支撑面，吸附件通过至少一个弹性支撑结构与支撑面连接；固设于吸附件远离电磁铁的一侧表面的第一摩擦件；以及固设于电机动子远离电机定子的一侧表面的第二摩擦件。其中，电磁铁在通电时吸附吸附件，弹性支撑结构被压缩，第一摩擦件和第二摩擦件之间形成一间隙，使得直驱电机正常工作；电磁铁在断电时释放吸附件，弹性支撑结构的弹性作用力使第一摩擦件紧靠第二摩擦件以限制电机动子做直线运动。本实用新型能在较短时间内对直驱电机的直线运动进行制动，从而减小了易碎物料被损坏的风险，并降低了装置的成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，尤其涉及一种直驱电机以及用于直驱电机的制动装置。

背景技术

在半导体设备中，出于对物料(例如硅片等)安全性的考虑，特别是对于作用于物料的垂向运动系统，需要设置制动装置，用于断电时保护物料。对于带动光学系统运动的水平运动系统，有时也需要制动装置，用于运动到位后制动，以保持光学系统的稳定性。

直驱电机越来越多的应用到半导体设备中，由于直驱电机可以通过直线运动系统实现电机输出力直接作用在负载端，省去了丝杠等力传动部件，使得直驱电机运动系统精度较高。现有技术中，应用于运动系统的制动装置通常安装在电机等驱动部件的末端或者丝杠等力传动部件的末端，但是，由于直驱电机的电机输出力直接在负载端，在其直线运动系统末端无法增加制动装置。目前行业内多采用外置轨道钳制器对直驱电机直线运动系统进行制动，但是轨道钳制器的制动时间较长(气动驱动的最短制动时间为60ms)，增加了硅片等易碎物料被损坏的风险，并且设置外置轨道钳制器的成本较高。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于直驱电机的制动装置，目的在于缩短直驱电机的制动时间以及降低制动装置的成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种用于直驱电机的制动装置，所述直驱电机包括电机定子和电机动子，所述电机动子在工作状态下沿第一方向作直线运动，所述制动装置包括：

电磁铁及对应的吸附件，所述电磁铁固设于一支撑面，所述吸附件通过至少一个弹性支撑结构与所述支撑面连接；

第一摩擦件，所述第一摩擦件固设于所述吸附件远离所述电磁铁的一侧表面；

以及第二摩擦件，所述第二摩擦件固设于所述电机动子远离所述电机定子的一侧表面；

其中，所述电磁铁在通电时吸附所述吸附件，使所述弹性支撑结构被压缩，并在所述第一摩擦件和所述第二摩擦件之间形成一间隙；所述电磁铁在断电时释放所述吸附件，所述弹性支撑结构反弹并向所述吸附件施加一压力，使所述第一摩擦件紧靠所述第二摩擦件以限制所述直线运动。

可选的，在所述制动装置中，所述第一摩擦件和所述第二摩擦件垂直于所述第一方向并排设置，所述弹性支撑结构反弹时向所述吸附件施加的压力的方向垂直于所述第一方向。

可选的，在所述制动装置中，所述弹性支撑结构包括一弹簧以及穿过所述弹簧的第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱固设于所述支撑面，所述第二支撑柱沿所述第一支撑柱延伸的方向固设于所述吸附件朝向所述电磁铁的一侧表面。

可选的，在所述制动装置中，所述支撑面所在平面平行于所述第一方向，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的延伸方向均垂直于所述支撑面所在平面。

可选的，在所述制动装置中，所述第一支撑柱和所述第二支撑柱的相邻端部之间的距离大于或等于零，所述弹簧在不受力时的长度大于同一方向上的所述第一支撑柱的长度、所述第二支撑柱的长度和所述间隙的宽度之和。

可选的，在所述制动装置中，所述弹簧为压缩弹簧。

可选的，在所述制动装置中，所述第一支撑柱的长度为所述第二支撑柱的长度的6～8倍。