[实用新型]一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉

说明书

本实用新型公开了一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉，包括炉体，炉体上安装与所述炉体的内腔连通的第一连接管，第一连接管连接智能阀，智能阀通过电连接智能阀控制器；还包括真空压力计；真空压力计通过电连接智能阀控制器。在硅芯铸锭过程中，采用本方案的炉压自动控制系统，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的控制精度低、产品质量差的现象；炉压自动控制系统，减少人为控制炉压的时间和劳动强度，提高控制的准确性；炉压自动控制系统，利用自动控制硅芯铸锭的炉压，有效的降低因炉压过高等因素对设备的影响，防止设备因炉压过高而发生事故，同时，因为其安全性高，便于推广。

技术领域

本实用新型涉及铸锭炉炉内压力自动控制技术，具体涉及一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉。

背景技术

硅芯铸锭炉是将多晶硅转化为多晶硅芯工艺过程中的必备设备，而多晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。多晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的控制精度低、产品质量差的现象。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：一种炉压自动控制的硅芯铸锭炉，包括炉体，炉体上安装与所述炉体的内腔连通的第一连接管，第一连接管连接智能阀，智能阀通过电连接智能阀控制器；

还包括通过第二连接管与炉体内腔连通的用于检测炉体内压力的真空压力计；

真空压力计通过电连接智能阀控制器；

智能阀控制器接收真空压力计传递的信号并根据该信号控制所述智能阀的开启或关闭。

在上述方案的基础上，作为优选，所述的第一连接管包括主管以及与该主管连接的支管，支管的数量为偶数，且支管与所述炉体的连接部在炉体周向上均匀分布。

在上述方案的基础上，作为优选，还包括与智能阀控制器连接的PLC控制器。

在上述方案的基础上，作为优选，还包括与PLC控制器连接的PC机。

硅芯铸锭炉用炉压自动控制系统的作用如下：在硅芯铸锭过程中，在溶化、长晶、退火工序中，需要按照工艺要求设定一定的氩气流量，并根据工艺要求控制腔体内压力。由于多晶炉内的炉压变化较快，情况复杂，而硅芯的定向生长工艺要求生长环境的压力应是稳定的，不能有突变，这种响应速度较慢的控制方式无法根据炉压变化及时计算调整，从而影响定向生长的多晶硅锭的品质，包括电阻率的径向均匀度等指标。

本实用新型的有益效果是：

1、在硅芯铸锭过程中，采用本方案的炉压自动控制系统，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的控制精度低、产品质量差的现象；

2、炉压自动控制系统，减少人为控制炉压的时间和劳动强度，提高控制的准确性；

3、炉压自动控制系统，利用自动控制硅芯铸锭的炉压，有效的降低因炉压过高等因素对设备的影响，防止设备因炉压过高而发生事故，同时，因为其安全性高，便于推广。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。