[实用新型]一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构

说明书

本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，其结构包括电极、押元盖、轴受、绝缘垫片、第一法兰、第二法兰、轴承、微型传感器、传感器用遮蔽器、传感器支架、夹具、齿轮、无接点马达机构、支柱、齿轮箱、钢带连接支座、钢带连接变压器、水冷套和本体保护罩组成，电极左部外侧与押元盖进行螺纹连接，押元盖右侧中部与轴受进行水平插接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，结构简单方便，机械故障率低，由于带水冷功能，大大降低了工作时的热量辐射，因此对低温共金工艺的温度控制尤其效果明显，蒸镀时工艺温度因带水冷能够控制在60度以下。

技术领域

本实用新型是一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，属于高真空镀膜机领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，真空镀膜机内部设置有用于热阻蒸发的钨舟回转用专门机构，传统的设计方案是把片状或线状高熔点金属（钨、钼、钽等）做成适当形状的蒸发源,装上蒸镀材料，通电流加热蒸镀材料，使其蒸发，存在薄膜致密性不佳；很多材料无法蒸镀；薄膜材料的蒸镀受到蒸发源材料熔点的限制；蒸发源材料消耗比较快的缺点。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，以解决现有技术薄膜致密性不佳；很多材料无法蒸镀；薄膜材料的蒸镀受到蒸发源材料熔点的限制；蒸发源材料消耗比较快的问题。

为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，包括电极、押元盖、轴受、绝缘垫片、第一法兰、第二法兰、轴承、微型传感器、传感器用遮蔽器、传感器支架、夹具、齿轮、无接点马达机构、支柱、齿轮箱、钢带连接支座、钢带连接变压器、水冷套和本体保护罩组成，所述电极左部外侧与押元盖进行螺纹连接，所述押元盖右侧中部与轴受进行水平插接，所述轴受右部外侧通过绝缘垫片与第一法兰进行螺纹连接，所述第一法兰右侧与第二法兰进行螺纹连接，所述轴受右侧通过轴承与第二法兰进行螺纹连接，所述电极中部后侧通过传感器用遮蔽器与传感器支架进行螺纹连接，所述微型传感器右侧通过传感器支架与电极进行转动连接，所述电极右部后侧与夹具进行螺纹连接，所述夹具底部与齿轮进行焊接，所述齿轮底侧与无接点马达机构进行传动连接，所述无接点马达机构左侧通过支柱与第二法兰进行插接，所述无接点马达机构右侧与齿轮箱进行传动连接，所述电极顶部右侧后部与钢带连接支座进行螺纹连接，所述钢带连接支座右侧与钢带连接变压器进行螺纹连接，所述电极右部顶侧与水冷套进行焊接，所述电极右部外侧设置有本体保护罩。

进一步地，所述本体保护罩的长度为269.2mm，高度为239.4mm，宽度为177mm。

进一步地，所述电极的长度为518mm。

进一步地，所述第一法兰和第二法兰的宽度均为17mm。

进一步地，所述齿轮箱的宽度为181mm。

进一步地，所述电极使用的材料为铜。

本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的热阻蒸发用的回转机构，结构简单方便，机械故障率低，由于带水冷功能，大大降低了工作时的热量辐射，因此对低温共金工艺的温度控制尤其效果明显，蒸镀时工艺温度因带水冷能够控制在60度以下。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型A视图的结构示意图；

图3为本实用新型B视图的结构示意图。