[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201821896948.X | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN208971808U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 安春璐;李忠凯 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 王喆 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 声孔 补强板 防水膜 本实用新型 麦克风 间隔距离 透气部 基板 容腔 阻水 结构稳定性 防水性能 声学性能 固定部 壳体围 底面 覆盖 封装 装配 外部 改进 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风包括：
由基板和壳体围成的包括有容腔的外部封装；
位于容腔内且固定结合在所述基板顶面上的补强板；以及
结合固定在所述补强板的背离所述基板一侧表面的MEMS芯片；
所述基板上包括有与MEMS芯片背腔对应设置的声孔；
所述补强板覆盖所述声孔，且所述补强板上包括有将MEMS芯片背腔与所述声孔连通的过声孔；
所述麦克风还包括有与所述基板结合固定的防水膜，所述防水膜覆盖所述声孔；所述防水膜包括与所述基板结合固定的固定部，以及与所述声孔对应的阻水透气部；
所述补强板的与声孔对应部分的底面与所述防水膜的阻水透气部之间留有间隔距离，该间隔距离为0.02mm-0.08mm。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜位于所述基板内，且通过注塑的方式与所述基板一体成型。
3.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜通过胶体结合固定于所述基板的背离MEMS芯片一侧的底面上。
4.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述声孔边缘对应的基板顶面内陷形成沉槽，所述补强板的边缘位于所述沉槽内。
5.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述补强板包括有通过弯折形成的弯折部，该弯折部与所述声孔对应且伸入所述声孔内，所述弯折部包括底壁，所述过声孔形成于所述底壁上；
所述底壁的底面与所述防水膜的阻水透气部之间形成所述间隔距离。
6.根据权利要求3所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防水膜的固定部通过胶体与所述基板底面结合固定；
所述阻水透气部的边沿延伸至所述声孔边沿的外侧；
所述阻水透气部的边缘与声孔边缘对应的基板底面之间形成振动腔。
7.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述麦克风还包括位于所述容腔内的ASIC芯片；
所述ASIC芯片通过胶体结合固定于所述基板顶面上，或者所述ASIC芯片结合固定在所述补强板的背离所述基板一侧表面上。
8.根据权利要求5所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述弯折部包括有侧壁，所述侧壁的外表面与所述声孔的内壁贴合。
9.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述过声孔由若干形成于所述补强板上的贯穿补强板两侧表面的微孔构成。
10.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述补强板的材质为金属。
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