[实用新型]一种制备金属粉体的系统

权利要求书

1.一种制备金属粉体的系统，其特征在于，所述系统包括：

真空腔室；

阴极，位于所述真空腔室的一侧，所述阴极与所述真空腔室动态密封连接，所述阴极通过阴极进给机构固定并逐步进料；

阳极，所述阳极位于所述真空腔室的另外一侧，所述阴极与所述阳极相对；

电源，为所述制备金属粉体的系统提供动力，所述电源的正极与所述阳极相连，所述电源的负极与所述阴极相连；

粉体收集系统，位于所述真空腔室底部；

真空系统，用于对真空腔室抽真空，所述真空系统与真空腔室密封连通。

2.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述电源为脉冲电源，电流0～1000A可调，功率0～100kW可调，脉冲频率为0～40kHz可调，做功幅宽在40％～100％可调。

3.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述阴极与所述阳极相对的面为电弧放电的表面，所述阳极电弧放电的表面面积大于所述阴极电弧放电的表面面积。

4.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述阴极不与所述阳极相对的表面设置屏蔽罩。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述阴极外围设置永磁体或电磁线圈，用于稳定所述阴极放电的稳定性。

6.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述阴极为棒状，所述棒状阴极的直径在1mm到500mm之间。

7.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述阳极为所述真空腔室器壁或者安装在所述真空腔室器壁上的金属板，所述阳极带有冷却水套。

8.根据权利要求7所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述阳极为Cu、Al、Fe或者与阴极相同材质的金属制成。

9.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵组合运行。

10.根据权利要求1所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述粉体收集系统位于所述真空腔室的底部，包括粉体收集板、冷却夹套和深冷液体循环系统，所述真空腔室的底部作为所述粉体收集板，所述冷却夹套位于所述粉体收集板的下方，所述冷却夹套中通入深冷液体，所述深冷液体通过所述深冷液体循环系统循环。

11.根据权利要求10所述的制备金属粉体的系统，其特征在于，所述深冷液体的冷却温度为-200～30℃。