[实用新型]一种射频激励装置

权利要求书

1.一种射频激励装置，其特征在于，包括：

真空腔体；和

四组电极组件，固定在所述真空腔体内；且

四组所述电极组件中的两组左右间隔设置，用于产生水平方向的射频激励电场以实现束流引出和测量水平工作点中的任意一个；四组所述电极组件中的另两组上下间隔设置、用于产生垂直方向的射频激励电场以实现测量垂直工作点。

2.根据权利要求1所述的射频激励装置，其特征在于，任一所述电极组件均包括：

电极板；和

两个功率馈入接头，前后间隔地固定穿装在所述真空腔体的腔壁上、并与所述电极板相连接。

3.根据权利要求2所述的射频激励装置，其特征在于，任一所述功率馈入接头均包括：

电极内杆，穿装在所述真空腔体的腔壁上、且其内端与所述电极板相连接；

陶瓷引线，套装在所述电极内杆的外部、并分隔所述电极内杆和所述真空腔体的腔壁，用于实现所述电极内杆与所述真空腔体的腔壁电绝缘；和

法兰，固定所述陶瓷引线于所述真空腔体的腔壁上。

4.根据权利要求3所述的射频激励装置，其特征在于，所述电极内杆的外端安装有BNC接头。

5.根据权利要求2所述的射频激励装置，其特征在于，任一所述电极组件还包括：

两个支撑工装，所述电极板的前后两端通过两个所述支撑工装固定在所述真空腔体的腔壁上，所述支撑工装用于保证所述电极板的位置精度。

6.根据权利要求5所述的射频激励装置，其特征在于，所述支撑工装包括螺栓、支撑块和垫片，所述螺栓依次穿过所述电极板、所述支撑块和所述垫片后旋装在所述真空腔体的腔壁上。

7.根据权利要求6所述的射频激励装置，其特征在于，所述支撑块为金属支撑块，所述垫片为绝缘垫片。

8.根据权利要求1所述的射频激励装置，其特征在于，还包括：

准直棒，位于所述真空腔体的外侧、并固定在所述真空腔体的上部；和

准直靶座，固定在所述准直棒上。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的射频激励装置，其特征在于，还包括：

三维调节机构，所述真空腔体安装在所述三维调节机构上，所述三维调节机构用于调节所述真空腔体的位置和角度。

10.根据权利要求9所述的射频激励装置，其特征在于，所述三维调节机构包括：

高度位置调节机构；

前后位置调节机构，安装在所述高度位置调节机构上；和

左右位置和角度调节机构，安装在所述高度位置调节机构上。