[实用新型]一种半自动硅片倒角生产设备

说明书

本实用新型涉及一种半自动硅片倒角生产设备，包括：机架，所述机架设置有第一安装区域，第二安装区域和第三安装区域；倒角组件，所述倒角组件安装设置在所述第一安装区域上；横向驱动组件，所述横向驱动组件安装设置在所述第三安装区域上；纵向驱动组件，所述纵向驱动组件滑动设置在所述横向驱动组件上；以及吸附组件，所述吸附组件连接设置在所述纵向驱动组件上；所述左右定位组件与所述位置感应组件之间形成归零区域；本实用新型解决了通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度的技术问题，其倒角精度高，自动化程度高，结构巧妙，操作方便，节省劳动力输出，提高了工作效率，减少了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种半自动硅片倒角生产设备。

背景技术

硅片在制作时，需要进行倒角，来增加硅片边缘表面的机械强度，目前市场上的一些硅片倒角设备往往是采用将硅片固定，由成型刀具的移动对硅片进行倒角，由于成型刀具比较笨重，使得其无法保证硅片的倒角精度，无法提高生产效率。

专利号为CN201720152288.3的专利文献公开了一种硅片倒小弧度圆角工装，由给进组件和夹具组件两部分组成，所述夹具组件的顶部夹持硅片，底部与研磨机连接并在所述研磨机的驱动下带动所述硅片高速旋转；所述给进组件包括工作台，安装在所述工作台上的刀架，以及固定在所述刀架上的刀具，所述刀具为成型刀具，所述成型刀具在所述工作台的控制下向所述夹具组件接近，磨削所述夹具组件端部的硅片，有益效果为：适用范围广，对难加工的小尺寸圆角具有良好的加工能力。

但是，在实际使用过程中，发明人发现该技术方案存在许多不足之处，如通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，通过设置横向驱动组件和纵向驱动组件，控制硅片移动来进行倒角，从而解决了通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度的技术问题，其倒角精度高，自动化程度高，结构巧妙，操作方便，节省劳动力输出，提高了工作效率，减少了生产成本。

针对以上技术问题，采用技术方案如下：一种半自动硅片倒角生产设备，包括：

机架，所述机架设置有第一安装区域，第二安装区域和第三安装区域；

倒角组件，所述倒角组件安装设置在所述第一安装区域上；

左右定位组件，所述左右定位组件安装设置在所述第二安装区域上；

位置感应组件，所述位置感应组件固定设置在所述第一安装区域上，且其位于所述倒角组件上方；

横向驱动组件，所述横向驱动组件安装设置在所述第三安装区域上；

纵向驱动组件，所述纵向驱动组件滑动设置在所述横向驱动组件上，且其与所述横向驱动组件垂直设置；以及

吸附组件，所述吸附组件连接设置在所述纵向驱动组件上；

所述左右定位组件与所述位置感应组件之间形成归零区域。

作为优选，所述倒角组件还包括：

上下导轨安装板，所述上下导轨安装板固定设置在所述第一安装区域上；

上下导轨调整板，所述上下导轨调整板设置在所述上下导轨安装板上；

高度调节轨道，所述高度调节轨道固定设置在所述上下导轨调整板上；

上下调节丝杠，所述上下调节丝杠转动设置在所述高度调节轨道内；

上下调节滚珠螺母，所述上下调节滚珠螺母配合设置在所述上下调节丝杠上；

安装座，所述安装座固定设置在所述上下调节滚珠螺母上；