[实用新型]一种靶材喷砂工装

权利要求书

1.一种靶材喷砂工装，包括：喷砂上盖(1)、喷砂压圈(3)和喷砂底座(4)，其特征在于：喷砂上盖(1)扣在靶面上，设置有支撑在靶材溅射面上的支撑脚架(104)与贴在靶面侧面夹紧脚架(105)，靶材坐在喷砂底座(4)上，喷砂压圈(3)压在靶材法兰面以及喷砂底座(4)的上平面上，喷砂底座(4)与喷砂压圈(3)之间通过固定装置连接。

2.根据权利要求1所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，喷砂上盖(1)包括握把(101)、平板(102)、排气孔(103)、支撑脚架(104)和夹紧脚架(105)五个部分，支撑脚架(104)支撑在靶面上平面且底部有圆角，夹紧脚架(105)夹紧在靶材侧面且底部有圆角。

3.根据权利要求1所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，压圈(3)包括压板(301)和安装孔(302)两个部分，底座(4)分为支撑板(401)、安装孔(402)和U型槽(403)三个部分，安装孔(302)和安装孔(402)轴心共线，压板(301)设有斜面。

4.根据权利要求1所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，还设置有喉箍(2)，其包括钢圈(201)和调节螺钉(202)两个部分，钢圈(201)套在夹紧脚架(105)的外侧。

5.根据权利要求2所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，所述喷砂上盖(1)中的支撑脚架(104)与夹紧脚架(105)的高度差等于喷砂区距离靶面的高度，公差为±0.2mm，支撑脚架(104)宽度8-12mm，高度15-20mm，并存在定位台阶，夹紧脚架厚度1-2mm，距离底面5mm处设置台阶，用来定位喉箍(2)，中心位置设置排气孔(103)直径8-12mm，平板(102)20-30mm厚，支撑脚架(104)内直径为靶面的百分之九十，夹紧脚架(105)内直径尺寸比靶材靶面外直径尺寸大1mm，公差±0.2mm。

6.根据权利要求3所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，所述喷砂压圈(3)压板(301)内直径为靶材喷砂区的外直径，公差±0.1mm，厚度5-6mm，安装孔直径与底座安装孔直径一致。

7.根据权利要求3所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，所述喷砂底座(4)支撑板(401)内径为靶材背板直径的百分之六十，厚度尺寸为50mm，安装孔(402)直径比靶材背板外直径大50mm，安装孔(402)个数为八个，安装孔(402)位置开U型槽(403)，底座边缘下部设置台阶。

8.根据权利要求1-7之一所述的一种靶材喷砂工装，其特征在于，所有和靶材直接接触的平面，粗糙度均保证在0.8μm以下。