[实用新型]一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置

说明书

本实用新型属于防凝结供气的技术领域，具体涉及一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，流量计采用差压式质量流量计，所述装置包括水浴加热装置、进气管道加热带、流量计加热丝和热水管路；其中，水浴加热装置用于对六甲基二硅氧烷进行加热，进气管道加热带缠绕在外部进气管道和电磁阀内部进气管道的表面上，流量计加热丝缠绕在差压式质量流量计的管道上，热水管路设置在真空腔室外壁上。有效解决了六甲基二硅氧烷单体堵塞供气系统的难题，简单易行，容易实现，成本不高。

技术领域

本实用新型属于防凝结供气的技术领域，具体涉及一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置。

背景技术

硅氧烷薄膜含有碳、氢、硅、氧等元素，具有对水蒸气良好的阻隔性且具有良好的柔韧性，适合于柔性包装材料领域的应用。所述硅氧烷薄膜通常采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备得到，单体使用六甲基二硅氧烷，反应气体采用氧气，通过调节单体和氧气的比例，可以制备不同氧含量的硅氧烷薄膜。

六甲基二硅氧烷(硅醚，MM封头剂)，无色透明液体，易潮解。无色液体。熔点-59℃，沸点101℃，相对密度0.7606(25/25℃)，折光率1.3750。溶于有机溶剂，不溶于水。

常温下六甲基二硅氧烷处于液体状态，同时由于本身的易挥发特性，需要加热温度在20～50℃形成蒸气压提供真空镀膜的单体。但该单体在输气管道、阀门、流量计和真空腔室内壁容易凝结。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，而提出的一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下。

一种六甲基二硅氧烷防凝结供气装置，所述装置包括存放装置和进气管道，进气管道的一端与存放装置连接，一端与真空腔室连接，进气管道上设有电磁阀和流量计，所述流量计采用差压式质量流量计，所述装置还包括水浴加热装置、进气管道加热带、流量计加热丝和热水管路；其中，水浴加热装置用于对存放装置中的六甲基二硅氧烷进行加热，进气管道加热带缠绕在外部进气管道和电磁阀内部进气管道的表面上，流量计加热丝缠绕在差压式质量流量计的管道上，热水管路设置在真空腔室外壁上。

水浴加热装置的温度在20～50℃连续可调，通过调节水温，使得单体蒸气压变化，满足真空腔室通气需求。

进气管道加热带温度在20～50℃可调，设定温度，防止单体在进气管道内凝结而堵塞管道，进而影响管道往真空室内通气。

流量计加热丝的温度在35～45℃，质量流量计是供气系统的核心部件，而且市场上多见热式质量流量计，热式质量流量计的基本原理是利用外部热源对管道内的被测流体加热，热能随流体一起流动，通过测量因流体流动而造成的热量(温度)变化来反映出流体的质量流量。若是在热式质量流量计外面加热的话一方面可能会影响电子元件工作使得通气量显示不准确，另一方面是计算流过气体的分子热，外界加热会干扰数据显示。差压式质量流量计是以马格努斯效应为基础的流量计，实际应用中利用孔板和定量泵组合实现质量流量测量。常见的有双孔板和四孔板与定量泵组合两种结构。采用差压式质量流量计，流量计管道上缠绕加热丝，通过热电偶设定一个35～45℃之间的恒定温度值，通过校准通气量使得防止流量计管路堵塞的同时，质量流量计通过气体数值准确，并且加热丝的安装不影响质量流量计的使用寿命。

热水管路中的热水温度控制30～40℃之间的恒定温度值，减少了六甲基二硅氧烷在腔体内壁的吸附。

进一步的，所述进气管道加热带完全包覆在进气管道和电磁阀内部进气管道上。

进一步的，所述流量计加热丝缠绕在质量流量计的局部，避免了质量流量计整体加热导致电路部分失效或者示数显示不正常。

进一步的，所述热水管路通过热水箱进行循环加热。

有益效果：