[实用新型]真空泵

说明书

在使用滚珠轴承的一体型真空泵中，防止滚珠轴承部的温度上升而实现耐用年限的提高。真空泵包括：泵装置，使转子以由滚珠轴承支承的旋转轴为中心而高速旋转，从泵排气口排出由泵吸气口吸入的气体；以及控制装置，安装在所述泵装置的沿所述旋转轴的方向的侧面，且包括包含发热元件的电子电路及收纳所述电子电路的壳体，对泵装置的运行进行控制，所述发热元件直接接触所述壳体的与泵装置不相接的外板，而所述发热元件不接触所述壳体的与泵装置相接的外板。

技术领域

本实用新型涉及一种使泵装置与控制装置一体化的一体型的真空泵。

背景技术

作为用于半导体制造装置或分析装置等中的真空泵，是使用涡轮分子泵 (turbomolecular pump)。涡轮分子泵包括泵装置及控制装置，所述控制装置包括用于驱动及控制泵装置内的马达等的驱动电路、控制电路等。

在涡轮分子泵中，为了通过使形成有多段旋转叶片的转子(rotor)高速旋转而进行排气，设置有在其两端附近旋转自如地支撑作为转子的旋转轴的轴(shaft)的轴承。在轴承中，是使用润滑脂(grease)润滑式的滚珠轴承、或利用永久磁铁或电磁铁的吸引力及排斥力的磁轴承。磁轴承虽然具有非接触的优点，但是与滚珠轴承相比体型大并且成本高。因此，在小型泵中，通常是在轴的一个吸气口侧(高真空侧)的端部使用磁轴承，在另一个排气口侧(低真空侧)的端部使用体型小且成本低的润滑脂润滑式的滚珠轴承。

为了使涡轮分子泵小型化，已知如专利文献1所述的泵装置与控制装置的一体化。在专利文献1所述的涡轮分子泵中，是在进行真空排气的泵装置的底座的侧面形成凹部，在所述凹部内收纳包含搭载有电子零件的基板的控制装置而实现小型化。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2014-105695号公报

实用新型内容

[实用新型所要解决的问题]

在涡轮分子泵中，为了使转子高速旋转，必须利用大功率来进行驱动，因此控制装置内的特别是驱动电路成为大发热源。当为了小型化而使泵装置与控制装置一体化时，控制装置内的驱动电路等发热元件所产生的热会传递至泵装置。而且，当所述热传输至对转子进行支撑的滚珠轴承时，存在滚珠轴承的润滑脂等润滑剂经加热而蒸发使得滚珠轴承的寿命缩短的问题。

[解决问题的技术手段]

根据本实用新型的第一方式，真空泵包括：泵装置，使转子以由滚珠轴承支承的旋转轴为中心而高速旋转，从泵排气口排出由泵吸气口吸入的气体；控制装置，安装在所述泵装置的沿所述旋转轴的方向的侧面，且控制装置包括包含发热元件的电子电路及收纳所述电子电路的壳体，控制装置对所述泵装置的运行进行控制；并且所述发热元件直接接触所述壳体的与所述泵装置不相接的外板，所述发热元件不接触所述壳体的与所述泵装置相接的外板。

所述发热元件与所述壳体的与所述泵装置不相接的外板以低热阻连接。

根据本实用新型的真空泵，所述壳体是具有沿所述旋转轴的方向的长边方向的长方体，所述壳体的所述发热元件所接触的所述外板是沿所述旋转轴的方向延伸的外板。

根据本实用新型的的真空泵，所述壳体经由隔热构件而与所述泵装置相接。

根据本实用新型的的真空泵，包括：冷却风扇，设置在所述泵装置的外表面，使所述泵装置冷却。

根据本实用新型的的真空泵，所述控制装置设置在来自所述冷却风扇的冷却风的冷却路径上。

根据本实用新型的的真空泵，所述冷却风扇相对于所述控制装置，夹着所述旋转轴而设置在所述泵装置的相反侧。

根据本实用新型的的真空泵，所述发热元件经由传热构件，与所述壳体的所述外板连接。