[实用新型]真空泵有效

专利信息
申请号: 201821698138.3 申请日: 2018-10-19
公开(公告)号: CN209483643U 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 芝守 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/58;F04D27/00
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 康艳青;姚开丽
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 泵装置 发热元件 滚珠轴承 真空泵 壳体 电子电路 旋转轴 外板 收纳 转子 泵排气口 泵吸气口 控制装置 不接触 一体型 排出 吸入 支承 侧面
【权利要求书】:

1.一种真空泵,其特征在于,包括:

泵装置,使转子以由滚珠轴承支承的旋转轴为中心而高速旋转,从泵排气口排出由泵吸气口吸入的气体;以及

控制装置,安装在所述泵装置的沿所述旋转轴的方向的侧面,且包括包含发热元件的电子电路及收纳所述电子电路的壳体,对所述泵装置的运行进行控制;并且

所述发热元件直接接触所述壳体的与所述泵装置不相接的外板,所述发热元件不接触所述壳体的与所述泵装置相接的外板。

2.根据权利要求1所述的真空泵,其特征在于,

所述壳体是具有沿所述旋转轴的方向的长边方向的长方体,

所述壳体的所述发热元件所接触的所述外板是沿所述旋转轴的方向延伸的外板。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵,其特征在于,

所述壳体经由隔热构件而与所述泵装置相接。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵,其特征在于,包括:

冷却风扇,设置在所述泵装置的外表面,使所述泵装置冷却。

5.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于,

所述控制装置设置在来自所述冷却风扇的冷却风的冷却路径上。

6.根据权利要求4所述的真空泵,其特征在于,

所述冷却风扇相对于所述控制装置,夹着所述旋转轴而设置在所述泵装置的相反侧。

7.根据权利要求1或2所述的真空泵,其特征在于,

所述发热元件经由传热构件,与所述壳体的所述外板连接。

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