[实用新型]一种晶闸管的铝蒸发装置

说明书

本实用新型公开了一种晶闸管的铝蒸发装置，包括外箱和底板，所述外箱的底部与底板的顶部固定连接，所述外箱内壁底部的一侧固定连接有第一安装块，所述第一安装块的顶部固定连接有缓冲块，所述缓冲块的顶部固定连接有电机，本实用新型涉及晶闸管技术领域。该晶闸管的铝蒸发装置通过在外箱内壁的底部通过第一安装块和缓冲块安装电机，电机输出轴的表面固定连接第一皮带轮，外箱内壁转动连接转动杆，转动杆的表面固定连接第二皮带轮，第一皮带轮与第二皮带轮之间通过皮带传动连接，转动杆的顶端与功能箱固定连接，这样的结构设置可以使功能箱进行旋转，加速坩埚内部的铝源蒸发速率，缩短蒸发时间，提高蒸发效率。

技术领域

本实用新型涉及晶闸管技术领域，具体为一种晶闸管的铝蒸发装置。

背景技术

晶闸管是一种大功率电器元件，一般晶闸管称作可控硅，它具有体积小、效率高、寿命长等优点，在自动控制系统中，可作为大功率驱动器件，实现用小功率控件控制大功率设备，它在交直流电机调速系统、调功系统及随动系统中得到了广泛的应用，可控硅分单向可控硅和双向可控硅两种，双向可控硅也叫三端双向可控硅，双向可控硅在结构上相当于两个单向可控硅反向连接，这种可控硅具有双向导通功能，其通断状态由控制极G决定，在控制极G上加正脉冲(或负脉冲)可使其正向(或反向)导通，这种装置的优点是控制电路简单，没有反向耐压问题，因此特别适合做交流无触点开关使用。

晶闸管的制备方法有金属铝的蒸发涂覆工艺,目前晶闸管芯片的铝蒸发装置，主要是将铝源放置在铜制的坩埚内，然后采用10KV的高速电子束轰击熔融，使固态的铝变成汽态，铜制的坩埚的空腔内盛装有冷却水，由于现有铝源直接放置在盛有冷却水的铜制坩埚内，导致了在蒸发过程中，加热电源功率15KW加到85％，蒸发速率只有10埃/秒左右，蒸发时间长达8.5H左右，效率低下，金属膜质量差，生产成本高。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶闸管的铝蒸发装置，解决了蒸发时间长效率低下、金属膜质量差、生产成本高的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶闸管的铝蒸发装置，包括外箱和底板，所述外箱的底部与底板的顶部固定连接，所述外箱内壁底部的一侧固定连接有第一安装块，所述第一安装块的顶部固定连接有缓冲块，所述缓冲块的顶部固定连接有电机，所述电机输出轴的表面固定连接有第一皮带轮，所述外箱内壁的底部通过转动块转动连接有转动杆，所述转动杆的表面固定连接有第二皮带轮，所述第一皮带轮与第二皮带轮的表面之间通过皮带传动连接，所述外箱内壁的两侧之间固定连接有隔板，所述转动杆的一端贯穿隔板并延伸至隔板的顶部，所述转动杆延伸至隔板顶部的一端通过连接块固定连接有功能箱。

优选的，所述外箱内壁底部的一侧固定连接有保护箱，所述保护箱内壁的底部固定连接有第二安装块，所述第二安装块的顶部固定连接有真空泵。

优选的，所述真空泵的进气口通过连接件连通有导气管，所述导气管的一端贯穿保护箱和隔板并延伸至隔板的顶部，所述真空泵的排气口通过连接件连通有排气管，所述排气管贯穿保护箱和外箱并延伸至外箱的外部。

优选的，所述功能箱内壁的底部与两侧均固定连接有加热丝固定板，并且加热丝固定板的表面均通过安装组件固定连接有加热丝，所述加热丝采用钽加热丝或钨加热丝作为加热介质。

优选的，所述功能箱内壁的两侧之间固定连接有坩埚，所述坩埚的内部放置有铝源，所述外箱的顶部连通有进料管，所述进料管的内部设置有电磁阀，所述电磁阀的输入端与控制箱的输出端电性连接。

优选的，所述底板底部的两侧均固定连接有导向轮，并且两个导向轮的一侧均固定连接有制动杆，所述外箱的一侧固定连接有控制箱。

有益效果

本实用新型提供了一种晶闸管的铝蒸发装置。具备以下有益效果：