[实用新型]一种晶闸管的铝蒸发装置

权利要求书

1.一种晶闸管的铝蒸发装置，包括外箱(1)和底板(2)，所述外箱(1)的底部与底板(2)的顶部固定连接，其特征在于：所述外箱(1)内壁底部的一侧固定连接有第一安装块(3)，所述第一安装块(3)的顶部固定连接有缓冲块(4)，所述缓冲块(4)的顶部固定连接有电机(5)，所述电机(5)输出轴的表面固定连接有第一皮带轮(6)，所述外箱(1)内壁的底部通过转动块转动连接有转动杆(7)，所述转动杆(7)的表面固定连接有第二皮带轮(8)，所述第一皮带轮(6)与第二皮带轮(8)的表面之间通过皮带(9)传动连接，所述外箱(1)内壁的两侧之间固定连接有隔板(10)，所述转动杆(7)的一端贯穿隔板(10)并延伸至隔板(10)的顶部，所述转动杆(7)延伸至隔板(10)顶部的一端通过连接块固定连接有功能箱(11)。

2.根据权利要求1所述的一种晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于：所述外箱(1)内壁底部的一侧固定连接有保护箱(12)，所述保护箱(12)内壁的底部固定连接有第二安装块(13)，所述第二安装块(13)的顶部固定连接有真空泵(14)。

3.根据权利要求2所述的一种晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于：所述真空泵(14)的进气口通过连接件连通有导气管(15)，所述导气管(15)的一端贯穿保护箱(12)和隔板(10)并延伸至隔板(10)的顶部，所述真空泵(14)的排气口(16)通过连接件连通有排气管(17)，所述排气管(17)贯穿保护箱(12)和外箱(1)并延伸至外箱(1)的外部。

4.根据权利要求1所述的一种晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于：所述功能箱(11)内壁的底部与两侧均固定连接有加热丝固定板(18)，并且加热丝固定板(18)的表面均通过安装组件固定连接有加热丝(19)。

5.根据权利要求1所述的一种晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于：所述功能箱(11)内壁的两侧之间固定连接有坩埚(20)，所述坩埚(20)的内部放置有铝源(21)，所述外箱(1)的顶部连通有进料管(22)。

6.根据权利要求1所述的一种晶闸管的铝蒸发装置，其特征在于：所述底板(2)底部的两侧均固定连接有导向轮(23)，并且两个导向轮(23)的一侧均固定连接有制动杆(24)，所述外箱(1)的一侧固定连接有控制箱(25)。