[实用新型]一种激光刻蚀装置

说明书

本实用新型公开了一种激光刻蚀装置，涉及激光刻蚀技术领域，所述装置包括：发射激光束的光纤激光器；对所述激光束进行准直并发送准直激光束的准直镜，所述准直镜设置在所述激光束的光路上；将所述准直激光束进行扩束的扩束镜，所述扩束镜设置在所述准直激光束的光路上；可调孔径光阑，所述孔径光阑设置在扩束后的所述准直激光束的光路上；第一分色镜和第二分色镜；将反射后的所述准直激光束进行聚焦的聚焦镜；LCD显示屏，所述LCD显示屏上具有一薄膜电路。解决了现有技术中的刻蚀装置对LCD面板进行刻蚀时，工作效率低，激光刻蚀精度低，不能满足不同刻蚀宽度的加工要求的技术问题，达到了满足不同刻蚀宽度的加工要求，提高刻蚀线路的质量和直线度的技术效果。

技术领域

本实用新型属于激光刻蚀技术领域，尤其涉及一种激光刻蚀装置。

背景技术

激光刻蚀装置是将从激光器发射出的激光，经光路系统，聚焦成高功率密度的激光束。激光束照射到显示面板ITO薄膜电路，ITO薄膜吸收激光能量后产生挥发。随着光束与工件相对位置的移动，最终使ITO薄膜电路刻蚀成所需要的刻蚀电路，达到刻蚀的目的。

但本申请发明人在实现本申请实施例中技术方案的过程中，发现上述现有技术至少存在如下技术问题：

现有技术中的刻蚀装置在对LCD面板进行刻蚀时，工作效率低，激光刻蚀精度低，不能满足不同刻蚀宽度的加工要求。

发明内容

本申请实施例通过提供一种激光刻蚀装置，解决了现有技术中的刻蚀装置在对LCD面板进行刻蚀时，工作效率低，激光刻蚀精度低，不能满足不同刻蚀宽度的加工要求的技术问题，达到了满足不同刻蚀宽度的加工要求，有效提高刻蚀线路的质量和直线度的技术效果。

本实用新型实施例提供了一种激光刻蚀装置，所述装置包括：发射激光束的光纤激光器；对所述激光束进行准直并发送准直激光束的准直镜，所述准直镜设置在所述激光束的光路上；将所述准直激光束进行扩束的扩束镜，所述扩束镜设置在所述准直激光束的光路上；可调孔径光阑，所述可调孔径光阑设置在扩束后的所述准直激光束的光路上；第一分色镜和第二分色镜，所述准直激光束依次经过所述第一分色镜和所述第二分色镜进行反射；将反射后的所述准直激光束进行聚焦的聚焦镜，所述聚焦镜设置在反射后的所述准直激光束的光路上；LCD显示屏，所述LCD显示屏上具有一薄膜电路；其中，所述聚焦镜将所述准直激光束聚焦到所述薄膜电路上，对所述薄膜电路进行刻蚀。

优选的，所述装置还包括：发射照明光的LED点光源；接收所述照明光并进行反射的半透半反镜，所述半透半反镜设置在所述照明光的光路上；其中，所述照明光经过所述半透半反镜反射后，依次通过所述第二分色镜和所述聚焦镜，经过所述聚焦镜聚焦在所述薄膜电路上。

优选的，所述装置还包括：将经过LCD显示屏反射，并依次经过所述第二分色镜、半透半反镜进行反射后的反射光进行滤光的滤光片，所述滤光片设置在所述半透半反镜的上方；接收经过所述滤光片滤光后的反射光并进行成像的CCD相机，所述CCD相机设置在滤光后的所述反射光的光路上。

优选的，所述扩束镜为可连续变倍扩束镜。

优选的，所述装置还包括：运动机构，所述运动机构与所述LCD显示屏连接，带动所述LCD显示屏运动。

本实用新型实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：