[实用新型]一种激光刻蚀装置有效
| 申请号： | 201821680715.6 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN209050269U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 王启明;陈超;万楚豪;杨秋松;杨付飞;王才良;胡真;陈浩;周玉兰;盛建雄;余勉;王瑞;李波 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 准直激光束 刻蚀 激光束 激光刻蚀装置 分色镜 扩束镜 准直镜 扩束 激光刻蚀技术 可调孔径光阑 本实用新型 光纤激光器 薄膜电路 工作效率 激光刻蚀 技术效果 刻蚀装置 孔径光阑 聚焦镜 直线度 准直 反射 加工 聚焦 发送 发射 | ||
1.一种激光刻蚀装置，其特征在于，所述装置包括：
发射激光束的光纤激光器；
对所述激光束进行准直并发送准直激光束的准直镜，所述准直镜设置在所述激光束的光路上；
将所述准直激光束进行扩束的扩束镜，所述扩束镜设置在所述准直激光束的光路上；
可调孔径光阑，所述可调孔径光阑设置在扩束后的所述准直激光束的光路上；
第一分色镜和第二分色镜，所述准直激光束依次经过所述第一分色镜和所述第二分色镜进行反射；
将反射后的所述准直激光束进行聚焦的聚焦镜，所述聚焦镜设置在反射后的所述准直激光束的光路上；
LCD显示屏，所述LCD显示屏上具有一薄膜电路；
其中，所述聚焦镜将所述准直激光束聚焦到所述薄膜电路上，对所述薄膜电路进行刻蚀。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
发射照明光的LED点光源；
接收所述照明光并进行反射的半透半反镜，所述半透半反镜设置在所述照明光的光路上；
其中，所述照明光经过所述半透半反镜反射后，依次通过所述第二分色镜和所述聚焦镜，经过所述聚焦镜聚焦在所述薄膜电路上。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
将经过LCD显示屏反射，并依次经过所述第二分色镜、半透半反镜进行反射后的反射光进行滤光的滤光片，所述滤光片设置在所述半透半反镜的上方；
接收经过所述滤光片滤光后的反射光并进行成像的CCD相机，所述CCD相机设置在滤光后的所述反射光的光路上。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述扩束镜为可连续变倍扩束镜。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：
运动机构，所述运动机构与所述LCD显示屏连接，带动所述LCD显示屏运动。
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