[实用新型]防刮伤治具有效
| 申请号： | 201821663206.2 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN209078703U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 罗伟民;邱政贤;李荣 | 申请（专利权）人： | 紫光宏茂微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B25H3/00 | 分类号： | B25H3/00 |
| 代理公司： | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人： | 黄琮;傅云 |
| 地址： | 201700 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆片 治具 校准槽 防刮伤 本实用新型 放入 重叠放置 放置槽 外侧面 刮伤 | ||
1.一种防刮伤治具，用于设置在晶圆片框架上，所述晶圆片框架包括顶板、底板、左竖框和右竖框，所述左竖框和所述右竖框上对应设有多组放置槽，对应的一组左放置槽与右放置槽位于相同高度，用于水平放置晶圆片，其特征在于，所述防刮伤治具包括：第一治具和第二治具；
所述第一治具用于设置在所述左竖框上，与所述左竖框的外侧面抵持，所述第一治具设有多个等间距的第一校准槽，所述第一校准槽在所述第一治具的右侧形成开口；
所述第二治具用于设置在所述右竖框上，与所述右竖框的外侧面抵持，所述第二治具设有多个等间距的第二校准槽，所述第二校准槽在所述第二治具的左侧形成开口；
对应的一组第一校准槽与第二校准槽位于同一高度，用于所述晶圆片的插入；
所述多个第一校准槽与所述多个放置槽对应，第一校准槽的底面与对应的放置槽的底面位于同一平面；
所述第一校准槽的高度大于所述晶圆片的厚度，且小于两块所述晶圆片的厚度；
所述第二校准槽的高度与所述第一校准槽的高度相同。
2.根据权利要求1所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第一校准槽与所述第二校准槽的深度均大于所述放置槽的深度。
3.根据权利要求1所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第一校准槽与所述第二校准槽的深度相同。
4.根据权利要求3所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第一校准槽的深度比所述放置槽的深度大10mm-15mm。
5.根据权利要求1所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第一治具的顶部设有第一连接部，所述第一连接部设有与所述左竖框的顶端适配的第一U型槽，用于与所述左竖框的顶端卡接；
所述第二治具的顶部设有第二连接部，所述第二连接部设有与所述右竖框的顶端适配的第二U型槽，用于与所述右竖框的顶端卡接。
6.根据权利要求1所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第一治具和所述第二治具的材质均为特氟龙。
7.根据权利要求1所述的防刮伤治具，其特征在于，还包括第三治具；
所述第三治具包括：左侧板、右侧板和顶盖；
所述第三治具用于套设在所述晶圆片框架的外侧，所述第三治具设有多个等间距的第三校准槽，所述第三校准槽在所述第三治具的前侧形成开口；
所述多个第三校准槽与所述多个放置槽对应，对应的一组第三校准槽与放置槽位于同一高度，所述第三校准槽的高度与所述放置槽的高度相同。
8.根据权利要求7所述的防刮伤治具，其特征在于，所述顶板的顶部设有卡槽，所述顶盖的下部设有与所述卡槽适配的凸条，所述凸条嵌入所述卡槽，使所述第三治具固定在所述晶圆片框架上。
9.根据权利要求7所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第三校准槽的深度为25mm-30mm。
10.根据权利要求7至9任一项所述的防刮伤治具，其特征在于，所述第三治具的材质为特氟龙。
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