[实用新型]一种球面光学元件表面疵病检测装置

说明书

本实用新型公开一种球面光学元件表面疵病检测装置，涉及光学元件检测技术领域，控制电路、光源、待测透镜、适配透镜、图像传感器及计算机，其中，所述的控制电路连接光源以脉冲触发光源发光，所述的待测透镜设置于光源与图像传感器之间，所述的待测透镜与图像传感器之间设置有适配透镜，移动适配镜以使光斑大小与图像传感器相匹配；所述的图像传感器的输出端连接计算机的输入端；本实用新型采用非接触检测方式，不会对所检测的球面光学元件造成损伤；且检测装置结构简单，具有测量精度及效率高等优点，能够实现球面光学元件表面疵病的快速在线检测。

技术领域

本实用新型涉及光学元件检测技术领域，尤其涉及一种球面光学元件表面疵病检测装置。

背景技术

随着社会的进步，球面光学元件被广泛应用于各个工程中，但由于加工工艺及运行环境的限制,光学元件多存在诸如划痕、麻点、破边及污染物等类型的表面疵病。在光路系统中，这些疵病会对光束造成不同程度的散射，破坏光场均匀性，降低光束质量。因此需要定量检测元件表面疵病的形貌结构，以便于准确判断光学元件的损伤程度以及分析疵病对系统波前的影响。

目前对于透镜表面疵病的检测主要是靠传统的人工目测法检测，检测劳动强度大、误检率高，极大影响了光学元件表面疵病的检测效果。另外通过原子力显微镜、光学轮廓仪等仪器对透镜表面进行检测，虽检测精度能达到nm级，但无法区分疵病和正常的加工纹理，难以应用到疵病的工程检测中。

实用新型内容

本实用新型针对背景技术的问题提供一种球面光学元件表面疵病检测装置，采用非接触检测方式，不会对所检测的球面光学元件造成损伤；且检测装置结构简单，具有测量精度及效率高等优点，能够实现球面光学元件表面疵病的快速在线检测。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种球面光学元件表面疵病检测装置，包括：控制电路、光源、待测透镜、适配透镜、图像传感器及计算机，其中，所述的控制电路连接光源以脉冲触发光源发光，所述的待测透镜设置于光源与图像传感器之间，所述的待测透镜与图像传感器之间设置有适配透镜，移动适配镜以使光斑大小与图像传感器相匹配；所述的图像传感器的输出端连接计算机的输入端。

优选地，所述的光源与图像传感器间的距离范围为25mm～50mm。

优选地，所述的待测透镜与光源之间的距离小于待测透镜焦距。

优选地，所述的光源，发出球面波遇透镜表面疵病发生衍射，衍射光与未发生改变的光干涉叠加，形成全息图并通过图像传感器采集。

优选地，所述的计算机重构采集的全息图强度。

本实用新型提出一种球面光学元件表面疵病检测装置，利用激光数字全息显微技术，检测球面光学元件表面疵病。通过此装置不仅能重构出球面光学元件表面疵病的振幅和相位信息，实现球面光学元件表面疵病的三维重构，而且采用的是非接触检测方式，不会对所检测的球面光学元件造成损伤。另外此检测装置结构简单，具有测量精度及效率高等优点，能够实现球面光学元件表面疵病的快速在线检测。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型一种实施例中球面光学元件表面疵病检测装置结构示意图；

图2为本实用新型一种优选实施例中全息图示意图；

图3为本实用新型一种优选实施例中投影坐标系示意图；

图4为本发明一种优选实施例中疵病形貌重现示意图；

符号说明：