[实用新型]一种球面光学元件表面疵病检测装置有效
| 申请号: | 201821649814.8 | 申请日: | 2018-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN209327240U | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
| 发明(设计)人: | 陈艳;俞小进;曾德祥 | 申请(专利权)人: | 广州博冠光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司: | 广州容大专利代理事务所(普通合伙) 44326 | 代理人: | 刘新年 |
| 地址: | 510530 广东省广州市高新技术*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 图像传感器 透镜 球面光学元件 光源 表面疵病检测 本实用新型 控制电路 适配 光学元件检测 快速在线检测 非接触检测 输出端连接 光斑 表面疵病 检测装置 脉冲触发 透镜设置 适配镜 输入端 计算机 匹配 发光 损伤 测量 检测 移动 | ||
1.一种球面光学元件表面疵病检测装置,其特征在于,包括:控制电路、光源、待测透镜、适配透镜、图像传感器及计算机,其中,所述的控制电路连接光源以脉冲触发光源发光,所述的待测透镜设置于光源与图像传感器之间,所述的待测透镜与图像传感器之间设置有适配透镜,移动适配镜以使光斑大小与图像传感器相匹配;所述的图像传感器的输出端连接计算机的输入端。
2.根据权利要求1所述的球面光学元件表面疵病检测装置,其特征在于,所述的光源与图像传感器间的距离范围为25mm~50mm。
3.根据权利要求1所述的球面光学元件表面疵病检测装置,其特征在于,所述的待测透镜与光源之间的距离小于待测透镜焦距。
4.根据权利要求1所述的球面光学元件表面疵病检测装置,其特征在于,所述的光源,发出球面波遇透镜表面疵病发生衍射,衍射光与未发生改变的光干涉叠加,形成全息图并通过图像传感器采集。
5.根据权利要求1所述的球面光学元件表面疵病检测装置,其特征在于,所述的计算机重构采集的全息图强度。
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