[实用新型]多功能样品台有效

专利信息
申请号: 201821600111.6 申请日: 2018-09-29
公开(公告)号: CN209182269U 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 刘兵海;华佑南;傅超;李晓旻 申请(专利权)人: 胜科纳米(苏州)有限公司
主分类号: G01N23/2204 分类号: G01N23/2204
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 朱琳
地址: 215123 江苏省苏州市工业园*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 失效分析 样品台 多功能样品台 本实用新型 半圆柱形 非磁性材料 非导体材料 纳米探针 样品转移 有效集成 电测试 剥层 成功率 破损 污染 应用 分析
【权利要求书】:

1.一种多功能样品台,其特征在于,包括:样品台本体,其中,所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成,所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。

2.如权利要求1所述的多功能样品台,其特征在于,所述样品台本体的直径为2-5mm,厚度为80-120μm。

3.如权利要求1所述的多功能样品台,其特征在于,所述样品台本体上设置有纳米级电路。

4.如权利要求1所述的多功能样品台,其特征在于,还包括用于承载所述样品台本体的夹套。

5.如权利要求4所述的多功能样品台,其特征在于,所述夹套包括:底座、位于所述底座上的支撑座以及设置在所述支撑座一侧的限位板,其中,所述支撑座上开设有与所述样品台本体的弧面相匹配的弧形槽,所述限位板的位置与所述弧形槽对应且所述限位板与所述支撑座之间通过螺栓连接。

6.如权利要求4所述的多功能样品台,其特征在于,所述夹套采用非磁金属材料制成。

7.如权利要求4所述的多功能样品台,其特征在于,还包括用于承载所述夹套的双向台。

8.如权利要求7所述的多功能样品台,其特征在于,所述双向台包括:基座、开设在所述基座上且形状与夹套相匹配的容纳槽以及分设于所述容纳槽两侧的侧壁上的调节螺栓,并且,所述容纳槽的其中一个侧壁高度低于所述夹套中样品的高度。

9.如权利要求8所述的多功能样品台,其特征在于,所述基座的两端还设置有用于与外部固接连接的固定螺栓。

10.如权利要求7所述的多功能样品台,其特征在于,所述双向台采用非磁金属材料制成。

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