[实用新型]一种用于离子源的中空阴极有效
| 申请号： | 201821582003.0 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN208903968U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吴伟文 |
| 地址： | 528437 广东省中*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 中空阴极 阴极管 后盖 惰性气体 输送管道 阴极本体 离子源 起辉 前盖 本实用新型 陶瓷保护套 阴极 电离区域 使用寿命 位置集中 一端设置 隔离件 管头部 溅射 上套 外壁 成功率 体内 保证 | ||
1.一种用于离子源的中空阴极，其特征在于：包括阴极本体、以及设置在阴极本体内的中空阴极管，所述的阴极本体的一端设置前盖，另一端对应设置有后盖，所述的前盖内设置有一维持极，通过维持极保证中空阴极管与维持极之间维持一个500～1500mA的电流，从而维持起辉状态的持续，所述后盖处设置有与中空阴极管相连通的惰性气体输送管道，所述的中空阴极管与惰性气体输送管道上均套设有隔离件，所述的中空阴极管上还套设有保护套，通过保护套保证起辉位置集中在有效起辉位置，即中空阴极管头部与维持极之间的位置。
2.根据权利要求1所述的一种用于离子源的中空阴极，其特征在于：所述的中空阴极管通过一连接件设置在阴极本体内。
3.根据权利要求1所述的一种用于离子源的中空阴极，其特征在于：所述的隔离件和保护套均采用陶瓷材料制成。
4.根据权利要求1所述的一种用于离子源的中空阴极，其特征在于：所述的阴极本体外还连接有一1500V的直流启动电源，该启动电源的正极与阴极本体连接，负极与中空阴极管连接，通过1500V的直流启动电源击穿中空阴极管头部的惰性气体产生电流回路。
5.根据权利要求1所述的一种用于离子源的中空阴极，其特征在于：所述的阴极本体外还连接有一2A的直流维持电源，所述的维持电源的正极与阴极本体连接，负极与中空阴极管连接，启动电源击穿形成回路后，通过维持电源保证电流一直能维持，进而保证一个稳定的电流输出，此时，需要将启动电源关闭。
6.根据权利要求1所述的一种用于离子源的中空阴极，其特征在于：所述的中空阴极管外还连接有一10A的直流阴极电源，所述的阴极电源的负极与阴极管连接，所述的阴极电源的正极接地，通过阴极电源保证电子流从阴极管中不断引出。
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