[实用新型]一种兼容多层光学透光膜的硅基光敏传感集成电路有效
| 申请号： | 201821553908.5 | 申请日： | 2018-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN208968672U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈立;樊子宇 | 申请（专利权）人： | 深圳市乐夷微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙) 11462 | 代理人： | 孙东风 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区西乡街道宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光敏传感元件 硅基 光学滤波元件 信号处理电路 透光膜 传感 多层 光敏 集成电路 本实用新型 兼容 照射 微型化 低成本 集成化 转换 过滤 放大 输出 | ||
【权利要求书】：
1.一种兼容多层光学透光膜的硅基光敏传感集成电路，包括光敏传感元件，其特征在于，还包括用于设置光敏传感元件的硅基；
在所述硅基上还设置有光学滤波元件和信号处理电路；
当光信号照射到所述光学滤波元件时，经过所述光学滤波元件过滤选择的光信号照射到所述光敏传感元件，并被所述光敏传感元件转换为电信号，该电信号经所述信号处理电路的选择、放大、转换后输出。
2.如权利要求1所述的兼容多层光学透光膜的硅基光敏传感集成电路，其特征在于，所述光敏传感元件为多个呈阵列形式排列的硅基光敏二极管。
3.如权利要求1所述的兼容多层光学透光膜的硅基光敏传感集成电路，其特征在于，所述光学滤波元件为TiO2/SiO2纳米多层膜。
4.如权利要求3所述的兼容多层光学透光膜的硅基光敏传感集成电路，其特征在于，所述TiO2/SiO2纳米多层膜以磁控溅射方式形成于硅基上，并对应分布于所述光敏传感元件的光学接收区域。
5.如权利要求3所述的兼容多层光学透光膜的硅基光敏传感集成电路，其特征在于，所述TiO2/SiO2纳米多层膜以蒸发淀积方式形成于硅基上，并对应分布于所述光敏传感元件的光学接收区域。
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