[实用新型]一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置

说明书

本实用新型涉及一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，特别涉及靶材加工设备领域。本实用新型包括真空泵、第一气管、储气罐、第二气管、分流管、高压气体喷头、支撑脚架、靶材装置、电源、电动机、衬管、水汽过滤器、冷凝水管、吸尘装置、电扇、喷涂仓。本实用新型克服了现有技术中在运用靶材进喷涂过程中往往在大气环境中容易在喷涂的过程中产生杂质降低产品纯度的问题。本实用新型通过设定一个真空的环境并将靶材材料加热到熔融状态再通过高速惰性气体将其雾化，形成小熔滴加速喷涂在衬管上，再经过冷凝水管和电扇的共同作用，加快冷凝的过程，减少靶材被氧化导致不纯的问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备领域，特别涉及一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。

背景技术

溅射是制备薄膜材料的主要技术，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集反应，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，不同功率密度、不同输出波形、不同波长能够制造出不同的靶材。随着科技的发展靶材在各个方面都得到广泛的应用，中国靶材产业发展也不断扩大自己的规模和生产技术，产出的靶材的品牌已经达到国际顶端的技术水平。喷涂制备金属靶材是利用电弧将靶材材料加热到熔融或半熔融状态，借助高速气体将其雾化，形成小的熔滴，并加速喷射到衬管或衬板表面，快速冷却凝固成金属涂层靶材的过程。但是在进行喷涂的过程中，大多数的设备往往是在空气中进行喷涂，很容易导致原材料表面氧化，影响产品最终的质量，也容易造成喷涂效率降低，使得生产成本下降。

实用新型内容

（1）要解决的技术问题

本实用新型克服了现有技术中在运用靶材进喷涂过程中往往在大气环境中容易在喷涂的过程中产生杂质降低产品纯度的问题。本实用新型提供一种在真空环境下进行喷涂的便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，包括真空泵、第一气管、储气罐、第二气管、分流管、高压气体喷头、支撑脚架、靶材装置、电源、电动机、衬管、水汽过滤器、冷凝水管、吸尘装置、电扇、喷涂仓；所述真空泵位于所述喷涂仓的外部左侧上方，所述真空泵和所述喷涂仓之间通过所述第一气管连接，所述储气罐通过所述第二气管连在所述喷涂仓内部的所述分流管上，所述分流管的喷涂前方设有所述高压气体喷头所述高压气体喷头设在所述靶材装置的左侧，所述靶材装置的一端和所述电源的正极相连、另一端和所述电源的负极相连，所述靶材装置设在所述衬管的左侧，所述衬管的上方通过联轴器和所述电动机相连，所述衬管的下方设在浮动支撑座上，所述衬管的右侧设有所述冷凝水管，所述冷凝水管的右侧设有所述电扇，所述冷凝水管和所述衬管之间设有所述水汽过滤器，所述喷涂仓的右侧内壁上方设有吸尘装置；所述喷涂仓设在所述支撑脚架上；

所述冷凝水管穿过所述喷涂仓并通过第三密封圈和第四密封圈密封，所述冷凝水管上设有流体控制阀。

优选地，所述的分流管、所述的靶材装置、所述的衬管、所述的水汽过滤器相互平行。

优选地，所述的电源通过电线和所述靶材装置相连，所述电源为脉冲式电源。

优选地，所述的水汽过滤器中设有水汽吸附性材料包括活性炭、生石灰、碳分子筛中的一种或多种。

优选地，所述的第一气管和所述喷涂仓的连接处设有第一密封圈，所述的第二气管和所述喷涂仓的连接处设有第二密封圈。

（3）有益效果

本实用新型克服了现有技术中在运用靶材进喷涂过程中往往在大气环境中容易在喷涂的过程中产生杂质降低产品纯度的问题。并且具有以下优点：

1、在本实用新型中通过在喷涂仓外侧增加真空泵使得喷涂仓内部为真空状态，便于喷涂后产品的纯度提高产品的生产效率；