[实用新型]一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置

权利要求书

1.一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：包括真空泵（1）、第一气管（2）、储气罐（3）、第二气管（4）、分流管（5）、高压气体喷头（6）、支撑脚架（7）、靶材装置（8）、电源（9）、电动机（10）、衬管（11）、水汽过滤器（12）、冷凝水管（13）、吸尘装置（14）、电扇（15）、喷涂仓（16）；所述真空泵（1）位于所述喷涂仓（16）的外部左侧上方，所述真空泵（1）和所述喷涂仓（16）之间通过所述第一气管（2）连接，所述储气罐（3）通过所述第二气管（4）连在所述喷涂仓（16）内部的所述分流管（5）上，所述分流管（5）的喷涂前方设有所述高压气体喷头（6），所述高压气体喷头（6）设在所述靶材装置（8）的左侧，所述靶材装置（8）的一端和所述电源（9）的正极相连、另一端和所述电源（9）的负极相连，所述靶材装置（8）设在所述衬管（11）的左侧，所述衬管（11）的上方通过联轴器（101）和所述电动机（10）相连，所述衬管（11）的下方设在浮动支撑座（102）上，所述衬管（11）的右侧设有所述冷凝水管（13），所述冷凝水管（13）的右侧设有所述电扇（15），所述冷凝水管（13）和所述衬管（11）之间设有所述水汽过滤器（12），所述喷涂仓（16）的右侧内壁上方设有吸尘装置（14）；所述喷涂仓（16）设在所述支撑脚架（7）上；

所述冷凝水管（13）穿过所述喷涂仓（16）并通过第三密封圈（131）和第四密封圈（133）密封，所述冷凝水管（13）上设有流体控制阀（132）。

2.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述的分流管（5）、所述的靶材装置（8）、所述的衬管（11）、所述的水汽过滤器（12）相互平行。

3.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述的电源（9）通过电线（91）和所述靶材装置（8）相连，所述电源（9）为脉冲式电源。

4.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述的水汽过滤器（12）中设有水汽吸附性材料，包括活性炭、生石灰、碳分子筛中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的一种便捷式用于金属靶材生产加工的喷涂装置，其特征在于：所述的第一气管（2）和所述喷涂仓（16）的连接处设有第一密封圈（21），所述的第二气管（4）和所述喷涂仓（16）的连接处设有第二密封圈（41）。