[实用新型]电浆炬激发装置的水分子供应装置

权利要求书

1.一种电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征是包括：

一火焰出口端，形成于电浆炬激发装置的底端，该电浆炬激发装置包含一极棒与一极芯，该极芯具有一作为带电离子的电场使用的圆锥形芯孔，该极棒投射带电离子在芯孔内生成电浆炬火焰，该电浆炬火焰并由该火焰出口端喷出；

一水腔室，形成于该极芯外围，该极芯的外壁制成鳍片状而接触该水腔室内的循环水；及

一罩体，固置于该火焰出口端，该罩体具有一提供电浆炬通过的火焰通道，且该罩体内开设有多个围绕于火焰通道周围的导水孔，多个导水孔各自连通于该水腔室与该火焰通道之间，用以供应水分子由该火焰通道喷出，令水分子接触该火焰通道内的电浆炬火焰。

2.如权利要求1所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：该火焰通道的四周形成为一圆锥形孔壁，所述多个导水孔由该圆锥形孔壁供应水分子至该火焰通道喷出。

3.如权利要求2所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：所述多个导水孔分别连通一形成于圆锥形孔壁上的出水孔，所述多个导水孔分别经由各该出水孔而供应水分子至该火焰通道喷出。

4.如权利要求3所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：各该出水孔分别具有一孔心线，且该火焰通道具有一轴心线，该孔心线与该轴心线之间具有一夹角，且0<该夹角<90°。

5.如权利要求2所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：该罩体具有一顶面及一底面，该火焰通道的圆锥形孔壁由该顶面逐渐扩张至该底面而形成。

6.如权利要求1所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：该极芯的外围罩设有一极芯座，该水腔室形成于该极芯与该极芯座之间。

7.如权利要求1所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：该电浆炬激发装置还包含一极芯架，该极芯架具有一中空的舱室，该极棒固置于该极芯架的顶部，该极棒之一用以投射带电离子的电离子投射端植入于该舱室内而形成一围绕于极棒与舱室壁面之间的集气槽，该极芯固置于该极芯架的底部，该芯孔连通该集气槽，且该电离子投射端邻近于该芯孔。

8.如权利要求1所述电浆炬激发装置的水分子供应装置，其特征在于：该电浆炬激发装置配置于一半导体废气处理槽上，该半导体废气处理槽内形成有一反应腔室，该电浆炬激发装置的火焰出口端植入于该反应腔室内。