[实用新型]曝光机的光源更换系统以及曝光机有效

专利信息
申请号: 201821431456.3 申请日: 2018-08-31
公开(公告)号: CN208737218U 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 吴利峰 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 室内 曝光机 光源 导轨移动 光源更换 导轨 腔室 工作腔 测试腔室 工作腔室 光源测试 生产效率 相邻设置 测试腔 曝光灯 停机 申请
【权利要求书】:

1.一种曝光机的光源更换系统,其特征在于,包括:

腔室,所述腔室包括相邻设置的工作腔室、测试腔室以及更换腔室,所述工作腔室内设置有第一光源,所述更换腔室内设置有第二光源;以及

导轨,所述导轨设置在所述腔室内;其中,

所述第一光源可沿着所述导轨移动至所述更换腔室内,所述第二光源可沿着所述导轨移动至所述测试腔室内,待所述第二光源测试通过后再沿着所述导轨移动至所述工作腔室内。

2.根据权利要求1所述的光源更换系统,其特征在于,所述工作腔室与所述测试腔室并排设置,且所述更换腔室设置在所述工作腔室与测试腔室上。

3.根据权利要求2所述的光源更换系统,其特征在于,所述导轨为环形导轨。

4.根据权利要求3所述的光源更换系统,其特征在于,所述腔室内还设置有第一移动板、第二移动板和第三移动板;其中,所述第一移动板设置在所述工作腔室与所述更换腔室之间,所述第二移动板设置在所述测试腔室与所述更换腔室之间,所述第三移动板设置在所述工作腔室与所述测试腔室之间。

5.根据权利要求4所述的光源更换系统,其特征在于,所述第一移动板包括第一移动部以及第一固定部,所述第二移动板包括第二移动部和第二固定部,所述第三移动板包括第三移动部和第三固定部;其中,所述第一固定部上设置有第一过孔,所述第二固定部设置有第二过孔,所述第三固定部设置有第三过孔,所述导轨沿着所述第一过孔、第二过孔以及第三过孔设置。

6.根据权利要求1所述的光源更换系统,其特征在于,所述第一光源包括第一滑动部以及设置在所述第一滑动部一侧的第一发光部,所述第二光源包括第二滑动部以及设置在所述第二滑动部一侧的第二发光部;

其中,所述第一滑动部和第二滑动部均设置在所述导轨上,以使所述第一光源可沿着所述导轨移动至所述更换腔室内,所述第二光源可沿着所述导轨移动至所述测试腔室内,待所述第二光源测试通过后再沿着所述导轨移动至所述工作腔室内。

7.根据权利要求1所述的光源更换系统,其特征在于,所述工作腔室内还设置有反射器,以及设置在所述工作腔室外的接收器;其中,所述反射器用于将所述第一光源发出的光线反射至所述接收器上。

8.根据权利要求1至7任一项所述的光源更换系统,其特征在于,所述测试腔室内还设置有一测试单元;

所述测试单元用于测试移动至所述测试腔室内的第二光源,以使所述测试腔室内的第二光源的参数达到预设参数。

9.根据权利要求1所述的光源更换系统,其特征在于,所述第一光源与第二光源的形状、大小均一致。

10.一种曝光机,其特征在于,包括权利要求1至9任一项所述的光源更换系统。

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