[实用新型]一种加热装置、温度控制系统及镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种加热装置、镀膜设备及温度控制系统，所述加热装置包括第一加热组，所述第一加热组包括N个第一加热件，且所述N个第一加热件沿所述第一加热件轴向相垂直的方向并排设置；第二加热组，所述第二加热组包括M对第二加热件，所述M对第二加热件分别对称设置于所述第一加热组的沿所述第一加热件轴向方向的两端，且每对第二加热件串联；其中，N为大于1的整数，M为整数。本实用新型提供的加热装置、镀膜设备及温度控制系统解决了现有加热装置在加热过程中出现加热不均匀的问题，能够实现均匀的加热效果。

技术领域

本实用新型实施例涉及镀膜设备制造领域，尤其涉及一种加热装置、温度控制系统及镀膜设备。

背景技术

在镀膜设备中，例如铜铟镓硒CIGS真空共蒸发设备中，通常需要设置加热装置。CIGS真空共蒸发设备是一种真空镀膜设备，也是制作CIGS薄膜太阳能电池的关键设备。目前，CIGS薄膜太阳能电池是较为主流的太阳能电池， CIGS薄膜太阳能电池由铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)、硒(Se)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜太阳能电池，是组成电池板的关键技术。CIGS真空共蒸发设备由多个真空腔室组成，一般为进片室、加热室、工艺室、冷却室和出片室等，其中在加热室和工艺室中均需要实现对基板的均匀加热。现有技术中通常会在腔室的中心设置加热装置，因为基板的尺寸较大，在加热过程中会出现基板的中心区域加热温度高，而边缘区域加热温度低的现象，从而出现加热不均匀的问题，容易导致基板产生裂痕。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种加热装置、温度控制系统及镀膜设备，以解决加热装置在加热过程中出现加热不均匀的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供一种加热装置，包括：

第一加热组，所述第一加热组包括N个第一加热件，且所述N个第一加热件沿所述第一加热件轴向相垂直的方向并排设置；

第二加热组，所述第二加热组包括M对第二加热件，所述M对第二加热件分别对称设置于所述第一加热组的沿所述第一加热件轴向方向的两端，且每对第二加热件串联；

其中，N为大于1的整数，M为整数。

可选的，所述第一加热件的轴向方向与所述第二加热件的轴向方向垂直。

可选的，在M大于1的情况下，所述M对第二加热件沿所述第二加热件的轴向方向依次并排设置。

可选的，所述第一加热组在第一方向上的总长度与所述第二加热组在所述第一方向上的总长度相等，其中，所述第一方向为所述第二加热件的轴向方向。

可选的，所述第一加热件为第一电阻丝，所述第二加热件为第二电阻丝。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种温度控制系统，包括温度控制腔室，所述温度控制腔室内设置有本实用新型实施例所述的加热装置；

所述温度控制系统还包括温度控制装置，所述温度控制装置与所述加热装置电连接，所述温度控制装置用于控制所述加热装置的加热功率使所述加热装置的温度位于第一预设温度区间。

可选的，所述温度控制腔室为镀膜设备的腔室，所述腔室内还设置有沿所述第一加热件轴向垂直的方向上可移动的镀膜基板，所述加热装置设置于所述腔室的上部，所述镀膜基板设置于所述加热装置下方。

可选的，所述温度控制系统还包括匀热件，所述匀热件设置于所述镀膜基板与所述加热装置之间。

可选的，所述温度控制装置包括：

可编程逻辑控制器PLC；

第一可控硅，所述第一可控硅分别与所述PLC和所述第一加热件电连接；

第二可控硅，所述第二可控硅分别与所述PLC和所述第二加热件电连接。