[实用新型]一种平推伞形高真空插板阀

说明书

本实用新型公开了一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔和气缸安装门，所述气缸安装门外侧安装有气缸轴密封，所述气缸轴密封前端安装有插板阀气缸，所述阀体真空腔一端安装有阀体安装门，所述阀体真空腔内部安装有伞形撑杆，所述伞形撑杆下方安装有支撑块，所述伞形撑杆一侧设有支撑板，所述支撑板另一侧设有密封板，所述支撑板内侧面焊接有支撑板冷却水道。本实用新型的平推伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对不同工艺可以进行不同的工艺优化设计，机械节拍可以达到60‑90秒，实现了电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

技术领域

本实用新型涉及连续镀膜生产技术领域，具体为一种平推伞形高真空插板阀。

背景技术

大型的高温高真空插板阀一直都是大型真空连续腔体真空隔离的难点和重点所在。目前连续装饰镀膜、连续工具镀膜、高温连续真空处理炉和光学镀膜镀膜行业广泛存在不能有效隔离的问题。阀板跨度大，在玻璃和装饰镀膜领域，装载盘(或者装载架)跨度已经需要2-4米跨度，对插板阀的设计提出了很高的要求，且阀板的高度大，在装饰镀膜和高温退火连续炉领域，由于产能的要求，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性，工作环境温度高，在工具镀膜和高温退火连续炉领域需要炉体的温度到达300摄氏度，高温退火连续炉甚至需要到1100摄氏度，节拍块，由于工业化的生产，需要快节拍生产，一般连续运行节拍最快在60-90秒，高真空隔离有效性和稳定性，插板阀最要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平推伞形高真空插板阀，具备通过性高，成品率高的特点，解决了现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔和气缸安装门，所述气缸安装门外侧安装有气缸轴密封，所述气缸轴密封前端安装有插板阀气缸，所述阀体真空腔一端安装有阀体安装门，所述阀体真空腔内部安装有伞形撑杆，所述伞形撑杆下方安装有支撑块，所述伞形撑杆一侧设有支撑板，所述支撑板另一侧设有密封板，所述伞形撑杆将支撑板和密封板连接在一起，所述支撑板内侧面焊接有支撑板冷却水道，所述密封板的内侧面焊接有密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道和密封板冷却水道密封连接有冷却水进出分水头，所述冷却水进出分水头上端串通连接有冷却水进出管，所述冷却水进出管一端下侧设有压缩空气进气口，所述冷却水进出管串通连接气缸安装门，所述冷却水进出管与气缸安装门的连接处设有冷却水进出轴密封，所述冷却水进出轴密封紧固连接于气缸安装门中部，所述冷却水进出管和冷却水进出轴密封连接，所述阀体真空腔中部设有阀体导向座，所述阀体导向座两侧设有阀体真空腔，所述阀体真空腔两侧内壁固定连接有限位块，所述阀体真空腔中部设有膨胀波纹管，所述膨胀波纹管左侧安装有进气道，所述膨胀波纹管上方和下方均安装有拉紧弹簧，所述阀体导杆通过导杆安装座紧固连接于阀体真空腔内壁。

优选的，所述冷却水进出管通过冷却水进出分水器与外部进出水法兰连接。

优选的，所述膨胀波纹管、伞形撑杆和拉紧弹簧均位于密封板冷却水道和支撑板冷却水道之间。

优选的，所述插板阀气缸中部设有气缸轴，所述气缸轴与支撑板之间设有连轴器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的平推伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性，允许的隔离温度到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，高真空隔离有效性和稳定性，插板阀最要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，实现了电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。