[实用新型]氨气浓度提升装置

说明书

本实用新型为一种氨气浓度提升装置，包括一外壳体、复数个板槽及一冷却单元。复数个板槽以层叠的方式设置于外壳体的容置空间内，并将容置空间区隔成为一流动空间。外壳体的下方连接至少一气体输入端及至少一液体输出端，而外壳体的上方则连接至少一气体输出端。由气体输入端进入的低浓度氨气会经由流动空间传输至气体输出端，其中低浓度氨气沿着流动空间输送时温度会逐渐下降，使得低浓度氨气中的水气凝结，以提高氨气的浓度，并可由气体输出端输出高浓度氨气。

技术领域

本实用新型是有关于一种氨气浓度提升装置，其中低浓度氨气在传输时温度会逐渐下降，使得氨气中的水气凝结成水溶液，借此以提高氨气的浓度。

背景技术

氨气是半导体制程中重要的材料，以发光二极体(LED)为例，纯氨是制造 LED的氮化镓晶体的重要材料，一般LED厂使用的纯氨虽为6N5(99.99995％) 以上的等级，但纯氨仍无法避免含有微量的有机物，例如丙酮、异丙醇、甲烷、乙烷、丙烷、乙烯、丙烯等等。当LED厂以MOCVD制程在高温下(750～1050 ℃)合成氮化镓时，有机物将会裂解为烷类、烯类、一氧化碳、二氧化碳、碳粒、烯酮等等的衍生杂质。这些衍生杂质会使氮化镓晶体产生差排，形成晶体的缺陷，而至使氮化镓的生产良率降低。然而，要去除纯氨中所含的微量有机物目前仍是极难克服的技术问题。

在另一方面，每提供100公斤的纯氨进入LED制程，将会有80公斤的氨气被排出制程，而一般排出制程的氨气浓度约为10％～15％，并包括氢气、氮气、甲烷、微量气体(一氧化碳、二氧化碳、烯酮)及粒状物(碳粒及金属镓)，一般大都将这些排出的氨气视为废弃物而不再利用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氨气浓度提升装置，可用以处理半导体制程中所产生的低浓度氨气，并产生高浓度氨气。借此可将低浓度氨气回收再利用，而处理过程中所产生的水溶液更符合环保法规的排放标准。为此本实用新型不仅可降低半导体制程的成本，亦可降低排放气体对环境所造成的污染。

本实用新型提出一种氨气浓度提升装置，主要包括复数个层叠设置的板槽，并在各个板槽之间形成一流动空间。此外板槽的上表面具有一容置槽，可用以容纳凝结的水溶液，其中容置槽内的水溶液可降低板槽下表面的温度，并有利于低浓度氨气中的水气凝结在板槽的下表面，并提高氨气的浓度。

本实用新型提出一种氨气浓度提升装置，主要于一外壳体内设置复数个层叠设置的板槽，并透过板槽将外壳体内的容置空间区隔成一流动空间。外壳体的下方设置至少一气体输入端及至少一液体输出端，而外壳体的上方则设置至少一气体输出端。由气体输入端进入的低浓度氨气会经由流动空间输送至气体输出端，并透过冷却单元、板槽及/或容置槽内的水溶液逐渐冷却低浓度氨气，使得低浓度氨气内的水气凝结成水溶液，借此以去除低浓度氨气内的水气，并于气体输出端输出一高浓度氨气。此外凝结的水溶液中的氨含量很低，符合环保法规的排放标准，并可由液体输出端排出。

为了达成上述目的，本实用新型提出一种氨气浓度提升装置，包括：复数个板槽，以层叠的方式设置，板槽包括一板体及至少一侧板，其中板体包括一上表面及一下表面，而侧板设置于板体的上表面，使得侧板与板体的上表面之间形成至少一容置槽；一外壳体，包括一容置空间、至少一气体输入端、至少一气体输出端及至少一液体输出端，层叠设置的板槽设置于容置空间内，并将容置空间区隔成为一流动空间，其中气体输入端、气体输出端及液体输出端流体连通流动空间；及一冷却单元，位于层叠设置的复数个板槽的上方。

在本实用新型氨气浓度提升装置一实施例中，其中相邻的板槽之间存在一间隔空间。

在本实用新型氨气浓度提升装置一实施例中，其中外壳体包括复数个壳板，而容置空间则位于复数个壳板内，相邻的板槽分别连接外壳体的相面对的两个壳板上，并于板槽与壳板之间形成一连通道，且间隔空间及连通道构成流动空间。

在本实用新型氨气浓度提升装置一实施例中，其中侧板、板体的上表面及外壳体形成容置槽。