[实用新型]气体流量控制模块

说明书

本实用新型涉及气体流量控制，尤其是一种气体流量控制模块。包括缓冲固定箱体、抽气泵、控制板和孔口流量计，所述抽气泵固定设置在缓冲固定箱体内，控制板和孔口流量计设置在缓冲固定箱体的外侧，缓冲固定箱体上设有进气口和排气口，孔口流量计与缓冲固定箱体的进气口连通，气体通过孔口流量计进入缓冲固定箱体内，抽气泵的出气口与缓冲固定箱体的排气口连通，缓冲固定箱体内的气体通过抽气泵排出，所述控制板分别通过导线与孔口流量计、抽气泵连接。其结构简单，安装方便，实现流量精准控制的同时，能够实现空间的高效利用。

技术领域

本实用新型涉及气体流量控制，尤其是一种气体流量控制模块。

背景技术

目前市场上对气体流量控制，均采用抽气泵、流量计、缓冲气容、限流阻尼孔、控制电路来实现稳定的流量控制，由上述部件组成的流量控制系统复杂，连接管路繁琐，给仪器设计带来很大的不便，尤其是当流量控制范围大的时候，对缓冲气容体积要求比较大，使得仪器整体体积变大，但是由于仪器的使用环境复杂多变，体积过大的仪器造成携带运输不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的上述缺陷，提出了一种气体流量控制模块，结构简单，安装方便，实现流量精准控制的同时，能够实现空间的高效利用。

本实用新型的技术方案是：一种气体流量控制模块，其中，包括缓冲固定箱体、抽气泵、控制板和孔口流量计，所述抽气泵固定设置在缓冲固定箱体内，控制板和孔口流量计设置在缓冲固定箱体的外侧，缓冲固定箱体上设有进气口和排气口，孔口流量计与缓冲固定箱体的进气口连通，气体通过孔口流量计进入缓冲固定箱体内，抽气泵的出气口与缓冲固定箱体的排气口连通，缓冲固定箱体内的气体通过抽气泵排出，所述控制板分别通过导线与孔口流量计、抽气泵连接。

当气流经过孔口流量计时，孔口流量计将其检测到的气流压力通过导线传给控制板，控制板将当前流量值与设定值对比，做出反应后，再通过导线向抽气泵发出控制信号，控制抽气泵的流量和真空度，从而准确控制从抽气泵的出气口流出的气体的流量，得到所需流量的气体。

所述缓冲固定箱体包括一个四边形的箱体本体和位于箱体本体的顶盖，顶盖与箱体本体之间固定连接，且顶盖与箱体本体之间设有密封垫，使缓冲固定箱体为一个密闭的箱体。

所述抽气泵包括泵体、抽气口、出气口、隔膜和气缸，隔膜位于泵体内，且位于连接抽气口和出气口之间的气流通道上，气缸包括缸筒和与外部电机连接的活柱，活柱在缸筒内往复移动，使隔膜做往复式运动，对抽气泵泵体内的空气进行压缩、拉伸形成真空，在抽气泵的抽气口处与外界大气压产生压力差。

本实用新型的有益效果是：

(1)结构简单，连接线路少，安装方便，因此可以实现模块化设计；

(2)体积小，提高了空间利用率，避免空间浪费，便于外出携带和运输，便于用户使用；

(3)实现了提起流量的精准控制。

附图说明

图1是本申请的俯视图；

图2是本申请的主视剖视图。

图中：1孔口流量计；2控制板；3抽气泵；4缓冲固定箱体；5通气管Ⅰ；6导线；8通气管Ⅱ；9排气口；10密封垫。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。