[实用新型]气体流量控制模块有效
| 申请号： | 201821314456.5 | 申请日： | 2018-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN208477386U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王宏亮;史殿龙;迟方圆;孔艳超;周济翠 | 申请（专利权）人： | 青岛众瑞智能仪器有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 雷斐 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缓冲固定 抽气泵 孔口流量计 气体流量控制 控制板 进气口 排气口 连通 流量计 本实用新型 气体通过孔 安装方便 高效利用 固定设置 精准控制 气体通过 出气口 排出 | ||
【权利要求书】：
1.一种气体流量控制模块，其特征在于：包括缓冲固定箱体(4)、抽气泵(3)、控制板(2)和孔口流量计(1)，所述抽气泵(3)固定设置在缓冲固定箱体(4)内，控制板(2)和孔口流量计(1)设置在缓冲固定箱体(4)的外侧，缓冲固定箱体(4)上设有进气口和排气口，孔口流量计(1)与缓冲固定箱体(4)的进气口连通，气体通过孔口流量计(1)进入缓冲固定箱体(4)内，抽气泵(3)的出气口与缓冲固定箱体(4)的排气口(9)连通，缓冲固定箱体(4)内的气体通过抽气泵(3)排出，所述控制板(2)分别通过导线(6)与孔口流量计(1)、抽气泵(3)连接。
2.根据权利要求1所述的气体流量控制模块，其特征在于：所述缓冲固定箱体(4)包括一个四边形的箱体本体和位于箱体本体的顶盖，顶盖与箱体本体之间固定连接，且顶盖与箱体本体之间设有密封垫(10)，使缓冲固定箱体(4)为一个密闭的箱体。
3.根据权利要求1所述的气体流量控制模块，其特征在于：所述抽气泵(3)包括泵体、抽气口、出气口、隔膜和气缸，隔膜位于泵体内，且位于连接抽气口和出气口之间的气流通道上，气缸包括缸筒和与外部电机连接的活柱，活柱在缸筒内往复移动，使隔膜做往复式运动，对抽气泵泵体内的空气进行压缩、拉伸形成真空，在抽气泵的抽气口处与外界大气压产生压力差。
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