[实用新型]静电卡盘及反应腔室

权利要求书

1.一种静电卡盘，包括基座以及设置在所述基座上的加热层，其特征在于，所述静电卡盘还包括电荷释放单元，所述电荷释放单元用于将所述基座和加热层均与地断开或者电导通。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘，其特征在于，所述电荷释放单元包括电荷释放电路，所述电荷释放电路接地，且分别与所述基座和加热层电连接，并且在所述电荷释放电路上设置有通断开关，用于接通或断开所述电荷释放电路。

3.根据权利要求2所述的静电卡盘，其特征在于，所述基座与加热层二者电绝缘设置；所述电荷释放电路包括主路、第一支路和第二支路，其中，所述第一支路和第二支路分别与所述基座和加热层电连接，并且所述第一支路和第二支路与所述主路串联；所述主路接地；

所述通断开关为一个，且设置在所述主路上；或者，

所述通断开关为两个，且分别设置在所述第一支路和第二支路上。

4.根据权利要求2所述的静电卡盘，其特征在于，所述基座与加热层二者电导通设置；所述电荷释放电路包括主路，所述主路与所述基座或者加热层电连接，且所述主路接地；所述通断开关设置在所述主路上。

5.根据权利要求3或4所述的静电卡盘，其特征在于，在所述主路上设置有保护电阻。

6.根据权利要求2所述的静电卡盘，其特征在于，所述加热层包括加热器层和设置在所述加热器层上的匀热层；所述电荷释放电路与所述匀热层电连接。

7.根据权利要求6所述的静电卡盘，其特征在于，在所述匀热层与所述加热器层之间设置有第一保护层，且在所述加热器层的背离所述匀热层的一侧设置有第二保护层，并且在所述第一保护层与所述匀热层之间设置有粘接剂层。

8.根据权利要求4所述的静电卡盘，其特征在于，所述基座与所述加热层通过螺纹连接并电导通。

9.根据权利要求2所述的静电卡盘，其特征在于，所述电荷释放单元还包括两个馈入电极，两个所述馈入电极分别设置在所述加热层和所述基座中，且所述电荷释放电路分别与两个所述馈入电极电连接。

10.一种反应腔室，包括静电卡盘，其特征在于，所述静电卡盘为权利要求1-9中任一所述静电卡盘。