[实用新型]氮化钛气相沉淀装置覆盖环部件洗净溶射专用遮蔽治具有效

专利信息
申请号: 201821175676.4 申请日: 2018-07-24
公开(公告)号: CN208517516U 公开(公告)日: 2019-02-19
发明(设计)人: 朱光宇;陈智慧;张正伟;李泓波;贺贤汉 申请(专利权)人: 富乐德科技发展(大连)有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/06
代理公司: 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 代理人: 盖小静
地址: 116600 辽宁省大连市保税区*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 遮蔽 洗净 本实用新型 沉淀装置 治具本体 氮化钛 定位台 覆盖环 射部件 治具 圆环状结构 由内向外 副产物 污垢 残胶 三层 覆盖 配合
【权利要求书】:

1.一种氮化钛气相沉淀装置覆盖环部件洗净溶射专用遮蔽治具,其特征在于,包括治具本体(5),所述治具本体(5)为具有厚度的圆环状结构,其结构分为三层,包括由内向外设置的内遮蔽台(3)、中间定位台(2)和外遮蔽台(1),所述内遮蔽台(3)和中间定位台(2)之间设有凹槽(4);所述内遮蔽台(3)上设置有与待洗净溶射部件(6)相配合的卡槽(10)。

2.根据权利要求1所述的氮化钛气相沉淀装置覆盖环部件洗净溶射专用遮蔽治具,其特征在于,所述中间定位台(2)卡接在待洗净溶射部件(6)的内缝(8)中,所述凹槽(4)内卡接有定位卡件(9)。

3.根据权利要求1所述的氮化钛气相沉淀装置覆盖环部件洗净溶射专用遮蔽治具,其特征在于,所述外遮蔽台(1)覆盖在待洗净溶射部件(6)的外覆盖件(7)的上表面。

4.根据权利要求1所述的氮化钛气相沉淀装置覆盖环部件洗净溶射专用遮蔽治具,其特征在于,所述治具本体(5)为不锈钢材质。

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