[实用新型]一种用于步进器曝光系统的自动对焦部

说明书

本实用新型涉及一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，包括晶片装载台、第一马达、第二马达、装载台中继基板、自动对焦中继基板、系统测试单元和LED水银灯，晶片装载台顶部固定连接有与晶片装载台相适配的对焦面，晶片装载台底部通过装载台中继基板双向连接有系统测试单元，系统测试单元一侧双向连接有自动对焦中继基板，自动对焦中继基板顶部通过自动对焦传感器连接有受光器，受光器底端两侧分别连接有第二马达和校正器，LED水银灯底部发射出的光线贯穿送光器并延伸至送光侧上，送光侧上的光线通过折返像镜发射到对物镜头内，振动子和LED水银灯之间设有缩小投影镜头。有益效果：有效的提高对准焦点和水准测量精度，使用性强。

技术领域

本实用新型涉及自动对焦设备技术领域，具体涉及一种用于步进器曝光系统的自动对焦部。

背景技术

步进器曝光系统在露光过程中，为了保证硅片能够始终在透镜的最佳对焦位置进行露光所需要采用焦点自动对准系统，对焦系统中含有独立的光路，光路不经过透镜，自动对焦系统探测到的是硅片表面的高度，通过晶片装载台的上下移动，以此来寻找到焦点的位置，然而现有的步进器曝光系统自动对焦部在进行对准时不能够与光束进行很好的校正与信号处理，也没有较好的投影设备来辅助寻找最佳焦点位置，不利于焦点和水准测量精度，降低了使用性。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，提供一种对焦精度高和使用方便的自动对焦部。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于步进器曝光系统的自动对焦部，包括晶片装载台、第一马达、第二马达、装载台中继基板、自动对焦中继基板、系统测试单元和LED水银灯，所述晶片装载台顶部固定连接有与晶片装载台相适配的对焦面，所述晶片装载台底部通过所述装载台中继基板双向连接有所述系统测试单元，所述系统测试单元一侧双向连接有所述自动对焦中继基板，所述自动对焦中继基板顶部通过自动对焦传感器连接有受光器，所述受光器底端两侧分别连接有所述第二马达和校正器，所述LED水银灯底部发射出的光线贯穿送光器并延伸至送光侧上，所述送光侧上的光线通过折返像镜发射到对物镜头内，所述对物镜头上的光线穿射至所述对焦面上，所述对焦面发射出的光线穿过受光侧连接有所述折返像镜，所述折返像镜上方设有与所述受光器相连接的振动子，所述振动子和所述LED水银灯之间设有位于所述晶片装载台上方的缩小投影镜头。

进一步的，所述第一马达一侧通过伸缩杆连接有所述晶片装载台。

进一步的，所述受光器和所述送光器中心处均设有贯穿其厚度的开口槽。

进一步的，所述缩小投影镜头外部靠近所述晶片装载台上连接有罩体。

进一步的，所述对焦面和所述晶片装载台顶部的平面度保持一致。

进一步的，所述自动对焦传感器型号为45点双十字自动对焦感应器。

本实用新型的技术效果在于：晶片装载台上装载台中继基板连接的自动对焦中继基板，可以在第一马达和第二马达的双向作用下，对晶片装载台进行上下前后的移动，LED水银灯发射的光线从送光器经过折返镜头上，从而发射到对焦面上，对焦面上的焦点精度位置同时也会在缩小投影镜头上反应出来，发射过后的的光线通过振动子发射到受光器上，自动对焦传感器感应的信息传输至系统测试单元上，从而根据焦点位置让晶片装载台进行移动调节，配合晶片装载台上的水准测量，调节到最佳聚焦精度，这样的步进器曝光系统自动对焦部大大提高了使用性能，焦点和水准测量精度高，实用性强。

附图说明

图1为本实用新型用于步进器曝光系统自动对焦部的结构示意图。