[实用新型]一种硅片料盒旋转装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片料盒旋转装置，它包括从上至下依次设置的上旋转固定板、升降装置、旋转装置和夹紧装置；其中，升降装置固定于上旋转固定板底部，旋转装置通过固定座与升降装置连接，夹紧装置通过旋转固定板与旋转装置连接。与现有技术相比，本实用新型结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，实际生产中已得到验证，设备碎片率降低到0.02％，新型装置机动率在100％；可以在导片机上使用。

技术领域

本实用新型属于机械领域，具体涉及一种硅片料盒旋转装置。

背景技术

硅片料盒旋转在硅片生产工艺中有很广泛的运用，如刻蚀工艺需要对硅片料盒旋转进行收集和取放硅片，所以硅片料盒旋转机构设计影响到生产工艺要求和设备产能。

现有技术中，主要依靠人工进行翻转装配，效率低下，浪费人力，而且容易造成硅片的破损。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片料盒旋转装置，以解决现有技术存在的效果不佳等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种硅片料盒旋转装置，它包括从上至下依次设置的上旋转固定板、升降装置、旋转装置和夹紧装置；其中，升降装置固定于上旋转固定板底部，旋转装置通过固定座与升降装置连接，夹紧装置通过旋转固定板与旋转装置连接。

其中，所述的升降装置包括升降气缸和加强支撑板。

其中，升降气缸设置于上旋转固定板底面，加强支撑板固定于升降气缸侧面和旋转固定板底面。

其中，所述的旋转装置包括1个旋转气缸。

其中，所述的夹紧装置包括夹紧板、夹紧座、夹紧气缸。

其中，所述的夹紧装置包括2个夹紧气缸，左右各一个，可以同时动作。

有益效果：

与现有技术相比，本实用新型结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，实际生产中已得到验证，设备碎片率降低到0.02％，新型装置机动率在100％；可以在导片机上使用。

附图说明

图1为本实用新型的正视图；

图2为本实用新型的侧视图。

具体实施方式

实施例1

如图1和图2所示的硅片料盒旋转装置，料盒被输送进入夹紧座8下方，升降气缸2伸出带动旋转装置和夹紧装置同时下降，升降气缸2伸出到位后，左右两个夹紧气缸7同时缩回带动夹紧板与夹紧座动作把料盒夹紧，升降气缸2缩回带动旋转装置和夹紧装置同时上升，升降气缸2缩回到位后，旋转气缸2旋转伸出带动料盒旋转90度，升降气缸2伸出带动旋转装置和夹紧装置同时下降，升降气缸2伸出到位后，左右两个夹紧气缸7同时伸出带动夹紧板与夹紧座动作把料盒松开，升降气缸2缩回带动旋转装置和夹紧装置同时上升，升降气缸2缩回到位后，旋转气缸2旋转缩回，等待下一个料盒。

本实施例结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，实际生产中已得到验证，设备碎片率降低到0.02％，新型装置机动率在100％；可以在导片机上使用。