[实用新型]一种长效防漏气气动伸缩引弧装置

说明书

本实用新型提供一种长效防漏气气动伸缩引弧装置，包括引弧机构、真空室、密封机构以及驱动机构；密封机构设置于真空室上方，密封机构包括密封固定组件及密封连接组件，密封连接组件的下端穿过真空室的活动孔与引弧机构一端连接设置；驱动机构设置于密封机构上方，驱动机构包括设置于密封固定组件上的驱动固定组件及设置于驱动固定组件上的驱动件，驱动件驱动端与密封连接组件的上端连接设置；通过在驱动机构下方设置密封机构，位于连接杆上的波纹段于驱动件对连接杆进行上下驱动作用时，使得连接杆不会因为使用次数的增加而出现漏气，解决了现有技术中易破坏电弧蒸发源连接法兰与活塞延伸杆之间的真空密封，出现漏气的技术问题。

技术领域

本实用新型属于等离子体表面气相沉积技术领域，尤其涉及一种长效防漏气气动伸缩引弧装置。

背景技术

真空阴极电弧沉积是当前离子镀工模具用和装饰用硬质保护薄膜的主流技术之一；具体的镀膜过程如下：真空阴极电弧蒸发源安装在真空镀膜室侧壁上，蒸发源前端穿入真空镀室内，其上的镀料靶块面朝着真空镀室内的待镀工件，由引弧装置在靶块表面引燃成簇的真空电弧微弧斑，弧斑区的高温和场致效应作用让靶材蒸发生成金属蒸气，并电离成等离子体向空间发射，在工件表面沉积成薄膜。

中国专利CN201210514559.7描述了一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述引弧器底座的前端面内。本发明能减少不良品率，降低生产成本。

上述气动式引弧装置存在诸多不足，如随着装置使用次数的增加，易破坏电弧蒸发源连接法兰与活塞延伸杆之间的真空密封，出现漏气问题。

实用新型内容

本实用新型的针对现有技术的不足提供一种长效防漏气气动伸缩引弧装置，通过在驱动机构下方设置密封机构，位于连接杆上的波纹段于驱动件对连接杆进行上下驱动作用时，使得连接杆不会因为使用次数的增加而出现漏气，解决了现有技术中易破坏电弧蒸发源连接法兰与活塞延伸杆之间的真空密封，出现漏气的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种长效防漏气气动伸缩引弧装置，包括引弧机构以及真空室，还包括：

密封机构，所述密封机构设置于所述真空室上方，该密封机构包括密封固定组件及安装于所述密封固定组件上的密封连接组件，所述密封连接组件的下端穿过所述真空室的活动孔与所述引弧机构一端连接设置；以及

驱动机构，所述驱动机构设置于所述密封机构上方，该驱动机构包括设置于所述密封固定组件上的驱动固定组件及设置于所述驱动固定组件上的驱动件，所述驱动件驱动端与所述密封连接组件的上端连接设置。

作为改进，所述引弧机构包括：

引弧针固定板，所述引弧针固定板与所述密封连接组件的下端固定连接，该引弧针固定板上开设有引弧针安装孔；

引弧针，所述引弧针可拆卸安装于所述引弧针安装孔内，且该引弧针通过螺栓固定于所述引弧针固定板上。

作为改进，所述密封固定组件包括：

绝缘垫圈，所述绝缘垫圈紧密设置于所述真空室的上方，且该绝缘垫圈与所述活动孔同轴设置；

密封座，所述密封座紧密设置于所述绝缘垫圈的上方，且该密封座与所述绝缘垫圈同轴设置；