[实用新型]一种酸性铜蚀刻液制备装置

权利要求书

1.一种酸性铜蚀刻液制备装置，其特征在于，所述制备装置包括硫酸储罐、非离子型表面活性剂储罐和第一混合罐，所述硫酸储罐出口和非离子型表面活性剂储罐出口分别与第一混合罐进口相连接；所述第一混合罐上设有进料通道，所述进料通道的上端开口设于第一混合罐外，所述进料通道的下端开口设于第一混合罐内，所述进料通道上端开口处设置有与进料通道上端大小、形状相匹配的盖体，所述进料通道与第一混合罐外壁连接处设有插孔，所述插孔内设有挡板。

2.根据权利要求1所述的酸性铜蚀刻液制备装置，其特征在于，所述制备装置还包括去离子水储罐、第二混合罐、调节阀、超滤装置和成品罐；所述第一混合罐出口、去离子水储罐出口分别与第二混合罐进口相连接；所述第二混合罐出口与超滤装置进口相连，所述第二混合罐出口与超滤装置进口的连接管道上设置有调节阀；所述超滤装置出口与成品罐进口相连。

3.根据权利要求2所述的酸性铜蚀刻液制备装置，其特征在于，所述第一混合罐、第二混合罐内均设有搅拌器。

4.根据权利要求1-3任一项所述的酸性铜蚀刻液制备装置，其特征在于，所述第一混合罐、第二混合罐和成品罐内壁均为聚四氟乙烯层。