[实用新型]一种用于玻璃和硅片的测量治具有效
| 申请号： | 201821059276.7 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN208333522U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 葛根焰 | 申请（专利权）人： | 常州天寅智造科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/30 | 分类号： | G01D11/30 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 余剑琴 |
| 地址： | 213001 江苏省常州市新北区河*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 治具 玻璃 插槽 基板 凸起 测量 本实用新型 测量要求 逐渐增大 人字形 上表面 圆弧形 自由端 插装 | ||
1.一种用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，包括基板和支柱；
所述基板的上表面上设置有人字形凸起，所述人字形凸起上设置有若干个插槽，所述支柱插装在所述插槽内，且所述支柱的自由端为圆弧形，所述支柱的直径和高度分别随玻璃或硅片的面积逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述基板的下表面设置有平滑层。
3.根据权利要求1所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述人字形凸起的上表面设置有平滑层。
4.根据权利要求1所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述支柱包括圆柱形立柱和球头；所述圆柱形立柱的一端插入所述插槽内，另一端与所述球头相连接。
5.根据权利要求4所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述支柱由硅胶材质一体成型制成。
6.根据权利要求1所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述基板上还设置有若干个定位槽，所述定位槽内可拆卸地设置有定位挡柱。
7.根据权利要求6所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
若干个所述定位槽在所述基板上不规则分布，以用于对不同形状的玻璃或硅片通过所述定位挡柱的抵挡接触。
8.根据权利要求6所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述定位槽的数量至少设置有两个，且所述定位挡柱与所述定位槽的数量相同。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述支柱的高度为5-16mm；和/或
所述支柱的直径为6-15mm。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的用于玻璃和硅片的测量治具，其特征在于，
所述人字形凸起的两个支腿间的夹角范围为119°至121°。
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