[实用新型]真空镀膜用夹持装置有效
申请号: | 201821058379.1 | 申请日: | 2018-07-04 |
公开(公告)号: | CN208532921U | 公开(公告)日: | 2019-02-22 |
发明(设计)人: | 李秀虎 | 申请(专利权)人: | 李秀虎 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 深圳市道勤知酷知识产权代理事务所(普通合伙) 44439 | 代理人: | 何兵;饶盛添 |
地址: | 441500 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电 导电基座 定夹块 动夹块 抵压块 螺杆 扭转弹簧 导柱 套接 夹持装置 压缩弹簧 真空镀膜 蒸发材料 容置槽 抵挡 本实用新型 压缩弹簧套 螺杆枢 滑动 穿置 抵接 地夹 滑设 压紧 延伸 | ||
本实用新型公开一种真空镀膜用夹持装置,包括导电基座、导电定夹块、导电动夹块、抵压块、螺杆、扭转弹簧及压缩弹簧。导电定夹块、导电动夹块及导电基座三者之间围出容置槽,导电定夹块安装在导电基座的顶部处,导电动夹块滑设于导电基座上,导电动夹块延伸出沿导电基座左右方向布置的套接导柱,导电基座上安装有供与套接导柱滑动穿置的抵挡块,压缩弹簧套于套接导柱上,压缩弹簧抵接于抵挡块与导电动夹块之间,螺杆穿置于导电定夹块的顶部,抵压块套于螺杆上;扭转弹簧套于螺杆上且一端插于抵压块处,另一端插于导电定夹块处,扭转弹簧恒具有驱使抵压块绕螺杆枢摆至压紧容置槽内的蒸发材料之安装端的趋势,以更方便可靠地夹持蒸发材料。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域,尤其涉及一种真空镀膜用夹持装置。
背景技术
随着科技的不断进步和经济的不断发展,为电子产品的发展提供一个良好的平台,促使电子产品朝高质量、高精度及高性能的目标发展。其中,OLED(英文全称:OrganicLight-Emitting Diode,中文名称:有机发光二极管)就是诸多电子产品之一种。
其中,对于OLED来说,其制备离不开有机薄膜的生成,现有最成熟的技术就是通过蒸镀技术来完成有机薄膜的制备。而在有机薄膜的真空蒸镀中使用的加热源有感应加热源、电阻加热源及电子束加热源。感应加热源由于高频率的使用,使它倾向于使用复杂的外围设备,如大规模涂覆仪器。电子束加热源几乎能蒸发所有种类的材料,因此它被广泛用于大型设备,也用于实验薄膜的制造,其缺点就是价格十分昂贵。而电阻式加热蒸发材料如蒸发舟由于安装简单及价格低廉等优点,因此其被广泛地应用于各个领域。
然而,上述蒸发舟在有机薄膜蒸镀时需要外界对其施加很大的电压和电流,使其产生高温以将待蒸镀材料进行熔融并蒸镀,这会导致蒸发舟的使用寿命迅速降低,加速了蒸发舟的更换速度。同时,处于大电压和电流上工作的蒸发舟与电极接触不好时极易损坏蒸发舟,从而缩短蒸发舟的寿命,而现有的用于蒸发舟上的夹紧装置却不能便于蒸发舟的更换操作,且在蒸发舟因蒸发而体积变小时不能再对蒸发舟保持夹持状态,且一般只能适用一种尺寸规格,故通用性差。
因此,急需要一种便于蒸发材料如蒸发舟更换操作、在蒸发过程中一直保持对蒸发材料夹持状态且适用范围大的真空镀膜用夹持装置来克服上述的缺陷。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种便于蒸发材料如蒸发舟更换操作、在蒸发过程中一直保持对蒸发材料夹持状态且适用范围大的真空镀膜用夹持装置。
为实现上述的目的,本实用新型提供了一种真空镀膜用夹持装置,适用对条状的蒸发材料进行夹持,包括导电基座、导电定夹块、导电动夹块、抵压块、螺杆、扭转弹簧及压缩弹簧。所述导电定夹块及导电动夹块在所述导电基座呈一左一右的相对布置,所述导电定夹块、导电动夹块及导电基座三者之间围出供蒸发材料之安装端放置的容置槽,所述导电定夹块安装在所述导电基座的顶部处,所述导电动夹块沿所述导电基座的左右方向滑设于所述导电基座上,所述导电动夹块背对所述导电定夹块的一侧延伸出沿所述导电基座左右方向布置的套接导柱,所述导电基座上安装有供与所述套接导柱滑动穿置的抵挡块,所述压缩弹簧套于所述套接导柱上,所述压缩弹簧抵接于所述抵挡块与所述导电动夹块之间以使所述导电动夹块朝靠近所述导电定夹块处滑移,所述螺杆沿所述导电基座的左右方向穿置于所述导电定夹块的顶部,所述抵压块套于所述螺杆上,所述扭转弹簧位于所述抵压块与所述导电定夹块之间并套于所述螺杆上,所述扭转弹簧的一端插于所述抵压块处,所述扭转弹簧的另一端插于所述导电定夹块处,所述扭转弹簧恒具有驱使所述抵压块绕所述螺杆枢摆至压紧所述容置槽内的蒸发材料之安装端的趋势。
较佳地,所述导电动夹块位于所述导电定夹块的左侧处。
较佳地,所述导电基座开设有沿所述导电基座的左右方向布置的T型导滑槽,所述导电动夹块的底部具有匹配所述T型导滑槽的T型导滑块,所述导电动夹块藉由所述T型导滑块和T型导滑槽的配合而滑设于所述导电基座上。
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