[实用新型]柔性薄膜射线探测器

权利要求书

1.一种柔性薄膜射线探测器，其特征在于：包括：

1)光电转换层，将入射到所述射线探测器的射线光子转换为电信号；

2)柔性支撑基板，作为所述光电转换层的附着支撑基板；

3)阵列像素电极，用于电信号收集，位于所述光电转换层与柔性支撑基板之间；

4)偏压电极，用于施加偏置电压，位于所述光电转换层的上方；

5)阻挡层，位于所述光电转换层与偏压电极之间；

6)包封层，用于将所述光电转换层、柔性支撑基板、偏压电极、阻挡层封装成完整的柔性探测器。

2.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，光电转换层材料为碘化铅PbI2、碘化铋BiI3、三碘化锑SbI3中的一种。

3.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，光电转换层为薄膜材料。

4.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，柔性支撑基板为聚酰亚胺PI、聚对苯二甲酸乙二醇酯PET、聚萘二甲酸乙二醇酯PEN、聚四氟乙烯PTFE中的一种。

5.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，阵列像素电极为铬/钼Cr/Mo、铬/金Cr/Au多层薄膜结构中的一种或两种。

6.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，偏压电极为连续金Au薄膜。

7.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，阻挡层为派瑞林、聚4-乙烯基苯酚PVP薄膜中的一种或两种,阻挡层采用化学气相沉积法、溶液旋涂法中的一种或两种制备。

8.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，包封层为弹性硅橡胶，射线为低能和中能X射线。

9.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，光电转换层薄膜材料采用电子束蒸发法、热蒸发法中的一种或两种制备。

10.如权利要求1所述的柔性薄膜射线探测器，其特征在于，阵列像素电极、偏压电极采用电子束蒸发法、热蒸发法中的一种或两种制备。