[实用新型]一种半导体单晶炉热屏升降装置

权利要求书

1.一种半导体单晶炉热屏升降装置，带动单晶炉中的热屏进行升降动作，其特征在于，包括：

安装座，安装在单晶炉的炉盖上；

水冷密封机构，下端部分穿过所述安装座和所述炉盖与所述热屏连接，上端部分安装有升降座；

两个升降机构，安装在所述安装座上并对称位于所述水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个所述线性模组的滑块分别与所述升降座固定连接；

驱动机构，与两个所述升降机构连接，包括安装在所述单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与所述齿轮箱连接。

2.根据权利要求1所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：

其中，所述水冷密封机构包括贯穿所述炉盖、所述安装座以及所述升降座的双层水冷轴以及密封套接在所述双层水冷轴外壁上的密封管，

所述双层水冷轴的上端设置有进水口和出水口，下端通过浮动接头设置有接头A和接头B，该接头A和接头B分别与所述热屏安装。

3.根据权利要求2所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：

其中，所述密封管为金属焊接波纹管，该金属焊接波纹管上端固定安装在所述升降座的下端面上，下端固定安装在所述安装座的上端面上，两端均由中心支架密封圈和卡箍密封。

4.根据权利要求1所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：

其中，所述线性模组为直线滑台模组，包括底座、设置在底座的外端的端盖，底端设置在所述底座内的导轨、通过滑动座安装在所述导轨上的滑块，所述底座内安装有与所述第一联轴器传动连接的丝杆，丝杆上安装有固定在滑动座上的丝杆螺母。

5.根据权利要求1所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：

其中，所述线性模组顶端设置有支架以及安装在所述支架上的延伸轴，所述延伸轴上安装有所述电磁式刹车组件。

6.根据权利要求5所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：

其中，所述电磁式刹车组件包括自下而上安装在所述延伸轴上的电磁离合器、感应开关、刹车片，所述电磁离合器、感应开关以及刹车片上设置有罩壳。

7.根据权利要求5所述的半导体单晶炉热屏升降装置，其特征在于：

其中，所述升降机构还包括线缆拖链，该线缆拖链一端固定在所述支架上，另一端固定安装在所述升降座上。