[实用新型]一种支撑件及基板烘烤机

说明书

本实用新型公开了一种支撑件，用于在烘烤机对基板进行烘烤时支撑基板其包括支撑柱、支撑头以及套筒，支撑柱包括第一柱体部以及固定部，第一柱体部的顶部设有盲孔，第一柱体部的底部与所述固定部相连，固定部用于将整个支撑柱固定安装在烘烤机的棚架上；支撑头包括第二柱体部以及分别位于该第二柱体两端的头部和嵌入部，嵌入部嵌入到盲孔中，以将支撑头与支撑柱连接；套筒套住支撑柱与支撑头，套筒的高度低于支撑柱与支撑头连接后的高度以露出支撑头的头部。通过以上设计，可以防止支撑柱与支撑头连接处发生断裂，提高良品率、提高生产效率、减少成本以及提高更换效率。本实用新型还公开了一种具有该支撑件的基板烘烤机。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种支撑件及基板烘烤机。

背景技术

在液晶显示面板制造中，光刻是最重要的工艺步骤之一。在光刻过程中，需要对液晶显示面板的玻璃基板进行多次烘烤，例如在涂布光刻胶前需烘烤基板以除去其表面的水分、提高涂敷均匀性；在涂敷光刻胶后需烘烤基板以使光刻胶固化；曝光完成后还需再次烘烤基板以除去残留的显影液。在烘烤过程中，基板需要与炉内的棚架保持一定的距离，通常采用在棚架上设置多个支撑件来支撑基板，这样可保证干燥温度可较好地传递至基板，进一步去除光阻中的溶剂，并增强光阻在基板上的附着性。在实际生产中，支撑件一般分为两部分，一部分是头部，另一部分是柱体，通常通过螺纹来连接，然而由于基板本身比较重，机器对基板的取放动作速度快而且还频繁，因此会出现支撑件头部断裂的情况。发生断裂之后会对基板造成背污和刮伤，影响良品率，如果更换支撑件，由于该制程的温度达到(225±5℃)，等待烘烤机降温以及更换支撑件至少需要8小时，极大地影响了生产效率，减少产量。而且断裂的支撑件头部残留在支撑件的柱体内无法拔出，整个支撑件都会报废，浪费成本。

实用新型内容

本实用新型提供了一种支撑件及基板烘烤机，旨在解决支撑件头部容易发生断裂的技术问题。

一方面，本实用新型提供了一种支撑件，用于在烘烤机对基板进行烘烤时支撑基板，所述支撑件包括：

一支撑柱，所述支撑柱包括第一柱体部以及固定部，所述第一柱体部的顶部设有盲孔，所述第一柱体部的底部与所述固定部相连，所述固定部用于将整个所述支撑柱固定安装在所述烘烤机的棚架上；

一支撑头，所述支撑头包括第二柱体部以及分别位于该第二柱体两端的头部和嵌入部，所述嵌入部嵌入到所述盲孔中，以将所述支撑头与所述支撑柱连接；以及

一套筒，所述套筒套住所述支撑柱与所述支撑头，所述套筒的高度低于所述支撑柱与所述支撑头连接后的高度以露出所述支撑头的头部。

可选地，所述支撑头的头部为圆头，用于与所述基板相接触。

可选地，所述第一柱体部和所述第二柱体部均呈圆柱状；所述套筒为圆筒。

可选地，所述第一柱体部和所述第二柱体部的直径相等，以保持表面平齐。

可选地，所述固定部设有外螺纹，所述支撑柱通过所述外螺纹固定在所述烘烤机的棚架上。

可选地，所述第一柱体部和所述第二柱体部的直径为6mm，所述套筒的直径为8mm，所述头部和所述第二柱体部的总高度值为15mm，所述第一柱体部的高度值为25mm，所述套筒的高度值为32mm。

可选地，还包括第一紧固结构和第二紧固结构，所述第一紧固结构用于将所述支撑头与所述套筒固定，所述第二紧固结构用于将所述支撑柱与所述套筒固定。

可选地，所述第一紧固结构包括第一双头螺柱、第一螺母、设于所述套筒上的第一通孔以及设于所述支撑头上的第一螺纹孔；安装时，将所述第一双头螺柱的一头穿过所述第一通孔与所述第一螺纹孔螺合，另一头通过与第一螺母螺合从而将所述支撑头与所述套筒相固定。