[实用新型]一种多线切割硅锭的装置有效

专利信息
申请号: 201820959715.3 申请日: 2018-06-21
公开(公告)号: CN208323866U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 刘群锋;马菲;胡楚汉;梁学勤;李宏;张军 申请(专利权)人: 宜昌南玻硅材料有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 宜昌市三峡专利事务所 42103 代理人: 成钢
地址: 443007 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 导辊 切割线 硅锭 线切割装置 晶托 线网 切割 多线切割 轴线方向 硅块 本实用新型 分段式结构 间断式切割 分段设置 环绕设置 晶体硅块 晶体硅片 有效解决 连贯性 点接触 间断式 金刚线 线接触 断线 多段 拼缝 跳线 粘接 避开 替代
【权利要求书】:

1.一种多线切割硅锭的装置,包括晶托(1)和绕线切割装置,其特征是:所述绕线切割装置包括第一导辊(2)、第二导辊(3)和切割线(4),多段切割线(4)依次沿导辊的轴线方向环绕设置在第一导辊(2)和第二导辊(3)的外侧,第一导辊(2)和第二导辊(3)带动切割线(4)往复移动,形成间断式切割线网,晶托(1)位于绕线切割装置的上方,晶托(1)下方粘接有多个硅锭(5),硅锭(5)与切割线(4)为线接触或点接触。

2.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述多段切割线(4)的间距大于多个硅锭(5)的间距。

3.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述第一导辊(2)和第二导辊(3)两端切割线(4)环绕的圈数大于中部切割线(4)环绕的圈数。

4.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述第一导辊(2)的直径大于第二导辊(3)的直径。

5.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述硅锭(5)分别对应一段切割线(4)粘接在晶托(1)上,并且硅锭(5)之间的拼缝位于多段切割线(4)间隔的正上方。

6.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述硅锭(5)底部之间的拼缝设有定位条(6),定位条(6)位于多段切割线(4)间隔的正上方。

7.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述硅锭(5)底面与间断式切割线网形成5-30度的夹角。

8.根据权利要求7所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述夹角为8-15度。

9.根据权利要求1所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述切割线(4)为电镀金刚线,金刚线包括钢丝(7)和金刚石颗粒层(8),在钢丝(7)表面电镀多层金刚石颗粒层(8),且金刚石的粒径依次减小。

10.根据权利要求9所述的一种多线切割硅锭的装置,其特征是:所述钢丝(7)与金刚石颗粒层(8)之间设有荧光涂层(9),用于指示金刚线的磨损程度。

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