[实用新型]一种长晶炉的炉身冷却结构有效

专利信息
申请号: 201820913174.0 申请日: 2018-06-13
公开(公告)号: CN208562597U 公开(公告)日: 2019-03-01
发明(设计)人: 刘东成;张晋;曹松青 申请(专利权)人: 深圳市盛世智能装备有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/20
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 唐致明
地址: 518108 广东省深圳市宝安区石岩街道石*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
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【说明书】:

一种长晶炉的炉身冷却结构,包括:圆筒状的内腔;圆筒状的外腔,所述内腔套设在所述外腔内,并且,所述内腔的外壁与所述外腔的内壁之间形成第一冷却腔;第一冷却隔环,所述第一冷却隔环呈环绕所述内腔的外壁的圆柱螺旋状,一面固定在所述内腔的外壁上,另一面靠近或抵接至所述外腔的内壁;所述第一冷却隔环在所述第一冷却腔内将冷却水由上至下地引流;第一进水口,至少在所述外腔的上部设置有一个第一进水口;第一出水口,至少在所述外腔的下部设置有一个第一出水口。本实用新型可以实现在对蓝宝石长晶炉炉身进行冷却的同时,降低能耗,降低成本。

技术领域

本实用新型涉及炉身的冷却领域,尤其涉及一种长晶炉的炉身冷却结构。

背景技术

蓝宝石材料具有强度高、硬度大、耐冲刷的特点,其作为屏幕材料被广泛应用于智能设备、红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光窗口等领域。

现有的蓝宝石长晶炉工作顺序通常包括分为:抽真空、加热、熔化、长晶、退火、冷却等步骤。其中,随着蓝宝石长晶设备和长晶技术的不断发展,对长晶炉炉身的冷却系统的要求也越来越高,在保证冷却系统安全性的前提下,需要对长晶炉炉身的冷却温度进行有效控制。

目前,对长晶炉炉身的冷却,通常包括两种方式,第一:使用氮气做冷却介质,但是,具有投入成本特别高的技术问题;第二:采用冷冻机,控制冷却水系统的水温的波动幅度,但是,具有电能消耗极大的技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对上述技术问题,提出了一种长晶炉的炉身冷却结构,以实现在对蓝宝石长晶炉炉身进行冷却的同时,降低能耗,降低成本。

一种长晶炉的炉身冷却结构,包括:圆筒状的内腔;圆筒状的外腔,所述内腔套设在所述外腔内,并且,所述内腔的外壁与所述外腔的内壁之间形成第一冷却腔;第一冷却隔环,所述第一冷却隔环呈环绕所述内腔的外壁的圆柱螺旋状,一面固定在所述内腔的外壁上,另一面靠近或抵接至所述外腔的内壁;所述第一冷却隔环在所述第一冷却腔内将冷却水由上至下地引流;第一进水口,至少在所述外腔的上部设置有一个第一进水口;第一出水口,至少在所述外腔的下部设置有一个第一出水口。

优选地,所述第一冷却腔内设置有至少一处第一隔离部,所述第一隔离部沿所述内腔的径向突出于所述内腔的外壁,并且,所述第一隔离部的周向边缘靠近或抵接至所述外腔的内壁,将所述第一冷却腔隔离,以形成至少两个第二冷却腔。

优选地,每个所述第二冷却腔分别包括一个第一进水口及一个第一出水口。

优选地,所述内腔的底部的外壁与所述外腔的底部的内壁之间形成第三冷却腔,所述第三冷却腔内设置有第二冷却隔环,所述第二冷却隔环呈平面螺旋状,一面固定在所述内腔的底部的外壁上,另一面抵接至所述外腔的底部的内壁,所述外腔的下部设置有连通至所述第三冷却腔的第二进水口,所述外腔的底部的中间处设置有第二出水口。

优选地,所述第一冷却腔与所述第三冷却腔之间具有第二隔离部,所述第二隔离部与所述内腔的底部一体设置,沿所述内腔的径向突出于所述内腔的外壁,并且,所述第二隔离部的周向边缘与所述外腔的外壁贴合。

优选地,还包括用于检测所述第一冷却腔内的水温的温度传感器。

优选地,还包括用于检测所述第三冷却腔内的水温的温度传感器。

本实用新型的长晶炉的炉身冷却结构,通过在内腔的外壁与外腔的内壁之间形成第一冷却腔,并设置有圆柱螺旋状的第一冷却隔环,使冷却水能顺着圆柱螺旋状的第一冷却隔环均匀地输送到内腔的外壁的各处,因此能够实现在对蓝宝石长晶炉炉身进行冷却,不仅如此,由于使用水冷,成本较低,并且水直接与内腔的外壁接触,因此冷却效率高,可降低能耗。

附图说明

图1(a)是本实用新型的长晶炉的炉身冷却结构的一种实施例的上方观察的立体图;

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