[实用新型]一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器

说明书

本实用新型公开了一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，包括管体、封盖和振管，所述管体的左端内部设置有进气管，所述进气管的右端外表面设置有限位环，所述转块的外侧安装有隔磁环，所述衔铁的外侧设置有导向环，所述导向环的右端连接有内壳，所述固定环的内部固定有出气管，所述封盖位于管体的右端，所述振管位于流量传感器的内部，且振管的外表面设置有驱动线圈，所述管体的上端设置有显示屏，且显示屏的右侧设置有调节按钮。该连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，连接较为稳定，连接十分密闭不容易泄漏，对气体流量质量等检测较到位，不用时可以进行封闭，防止进入杂质。

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器。

背景技术

质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用，一般的气体质量流量控制器，连接不够稳定，连接不够密闭容易泄漏，对气体流量质量等检测不到位，不用时无法进行封闭，因此，我们提出一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器连接不够稳定，连接不够密闭容易泄漏，对气体流量质量等检测不到位，不用时无法进行封闭的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，包括管体、封盖和振管，所述管体的左端内部设置有进气管，且进气管的外表面设置有固定螺栓，所述进气管的右端外表面设置有限位环，且限位环的右端连接有转块，所述转块的外侧安装有隔磁环，且隔磁环的右侧设置有衔铁，所述衔铁的外侧设置有导向环，且导向环的右端内表面设置有温度感应器，所述导向环的右端连接有内壳，且内壳的内部设置有固定环，所述固定环的内部固定有出气管，且出气管的左侧外表面设置有弹簧，所述封盖位于管体的右端，且管体的内部设置有流量传感器，所述振管位于流量传感器的内部，且振管的外表面设置有驱动线圈，所述管体的上端设置有显示屏，且显示屏的右侧设置有调节按钮。

优选的，所述进气管贯穿在管体的内部，且进气管与固定螺栓的连接方式为螺纹连接，并且进气管的纵截面呈“T”字型结构。

优选的，所述隔磁环的直径与导向环的内径相等，且隔磁环卡合在转块的外表面，并且转块在导向环的内部为转动结构。

优选的，所述出气管贯穿在固定环的内部，且固定环关于内壳对称设置有2组，并且内壳与导向环的连接方式为螺纹连接。

优选的，所述弹簧等间距设置在出气管的两侧，且出气管与衔铁的连接方式为卡槽连接，并且衔铁在导向环的内部为滑动结构。

优选的，所述驱动线圈缠绕在振管的外表面，且振管关于管体对称设置有2组，并且振管呈“T”字型结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该连接稳定且具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，连接较为稳定，连接十分密闭不容易泄漏，对气体流量质量等检测较到位，不用时可以进行封闭，防止进入杂质。

附图说明

图1为本实用新型中的纵剖图；

图2为本实用新型中的转块和隔磁环的连接结构示意图；

图3为本实用新型中的振管和驱动线圈的连接结构示意图。

具体实施方式