[实用新型]一种高精度混合配气装置

说明书

一种高精度混合配气装置，主要包括原料气输送、电气控制、PLC实时控制、抽真空系统，管路充装系统，原料气输送包括依次用管路连接的多个原料气输入端口以及各自的过滤器和气源调节控制阀；原料气输送通过管路以及管路上安装的多个气动隔膜阀分别连通所述的抽真空系统和管路充装系统，气动隔膜阀由受控于电气控制中PLC信号传输给电磁阀进行控制；它具有能够实现高效率高精度配气，配气效率高，能够实现高精度混合气的工业化生产，便于操作及优化，能提高配气精度等特点。

技术领域

本发明涉及一种高精度混合配气装置，属于混合气体的配置技术领域。

背景技术

目前高精度混合气的生产方法主要有称量法、分压法、静态容量法、渗透法、毛细管流量法等，但能够用于工业生产且能够溯源的目前还是以称量法为主。即通过充入气体的质量计算来进行高精度混合气体的生产。

由于高精度混合气体，特别是标准气的生产精度要求较高，一次配置法由于配置精度低、设备自动化程度低等原因，无法满足生产需要，采用中间气进行配置，但是中间气的配置亦是由人工配置完成，极大的限制了生产。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种能够实现高效率高精度配气，且配气范围可从ppm级到百分比级，配气效率高，能够实现高精度混合气的工业化生产，便于操作及优化，能提高配气精度的可移动式高精度混合配气装置。

本发明的目的是通过如下技术方案来完成的，一种高精度混合配气装置，主要包括原料气输送、电气控制、PLC实时控制、抽真空系统，管路充装系统，所述的原料气输送包括依次用管路连接的多个原料气输入端口以及各自的过滤器和气源调节控制阀；所述的原料气输送通过管路以及管路上安装的多个气动隔膜阀分别连通所述的抽真空系统和管路充装系统，且所述的气动隔膜阀由受控于电气控制中PLC信号传输给电磁阀进行控制；所述的原料气输送与管路充装系统的连接管路中至少还设置有质量流量控制器和第一压力测点，而在原料气输送与抽真空系统的连接管路或抽真空系统的排气管路中设置有第二压力测点，且所述电气控制中PLC信号输出是根据所述质量流量控制器、所述第一压力测点和第二压力测点给出。

作为优选：所述的原料气输入端口分别有两组，每组至少由两路原料气输入端口构成，所述的管路充装系统和抽真空系统至少通过一安装有气动隔膜阀的连接管路串接，并在各自的管路中还安装有一气动隔膜阀；所述的管路充装系统包括一用于放置充气钢瓶的高精密电子天平减震台，在该高精密电子天平减震台上方配置有与原料气输送用管路连接的管路进出口柔性结构，该管路进出口柔性结构包括一与瓶口相连接的快插接头，该快插接头连接一吊装在顶部下垂管上的、位于高精密电子天平减震台上方的进气口螺旋盘旋软管；

所述的抽真空系统包括真空泵、安全排放口、真空电阻规和紧急切断阀组装而成，且该抽真空系统间歇抽真空。

作为优选：所述的高精密电子天平减震台有三层平台基座，底层基座为混凝土，放置有四根带有减震弹簧的支撑结构，中层基座为具有吸振作用的粉末减振台，上层基座为混凝土减振台，上层基座通过橡胶垫安置在中层基座上面。

本发明不仅能用原料气高效配制ppm级浓度的标准气，而且所配制的标准气误差相对于配气系统误差较小，且配气效率更高，能够实现高精度混合气的工业化生产；对于ppm级组分气的控制困难，通过PLC实时反馈控制，通过钢瓶充装压力反馈和钢瓶充装气体质量反馈来控制质量流量控制器的气体速率；采用PLC控制，具有良好的人机交互界面，便于操作及优化，通过实时反馈计算，可对系统误差进行自动补偿，从而提高了高精度混配气的配气精度。

附图说明

图1为本发明的结构组成原理示意图。

图2是本发明所述充装气柔性管路进口的结构示意图。

图3是本发明所述电子天平减振台结构示意图。

图4是本发明的电气控制框图。