[实用新型]三氯化硼纯化尾气处理装置

说明书

本实用新型涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口，处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端，封盖中部设置通孔，通孔内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖上侧面，旋紧后将通孔密封，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔，导气管上部周侧连接尾气入口，疏通棒位于导气管内，本实用新型结构简单，设计合理，避免对环境造成影响。

技术领域

本实用新型涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置。

背景技术

电子级高纯三氯化硼主要用作半导体硅的掺杂源，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展，电子级高纯三氯化硼市场非常广阔。在电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中,存在尾气排放问题，电子工业用高纯三氯化硼净化装置排出的尾气主要成分为三氯化硼，如果直接对外放空，三氯化硼与空气中的水分发生剧烈反应，可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾，放出具有刺激性的氯化氢气体，对环境造成恶劣影响。

发明内容

本实用新型的目的是针对以上不足之处，提供了一种三氯化硼纯化尾气处理装置。

本实用新型解决技术问题所采用的方案是：一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。

进一步的，所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端面。

进一步的，封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B，通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封。

进一步的，处理罐上端面上设置有压力表接口。

进一步的，伸长管上端外周设置法兰A，法兰上设置有均布有螺栓孔A，封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B，螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置，封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接，封盖A与法兰A之间设置有密封圈。

进一步的，处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计，玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。

进一步的，卸料口外周设置法兰B，法兰B上设置有均布有螺栓孔C，板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D，螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置，封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接，封板与法兰B之间设置有密封圈。

进一步的，处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口。

与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果：结构简单，设计合理，能对电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中排出的尾气进行处理，避免对环境造成影响。

附图说明

下面结合附图对本实用新型专利进一步说明。

图1是本装置的结构示意图；

图2是图1的侧视图；

图3是本装置的内部结构示意图。

图中：