[实用新型]三氯化硼纯化尾气处理装置

权利要求书

1.一种三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。

2.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端面。

3.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B, 封盖B中部设置通孔B, 通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封。

4.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：处理罐上端面上设置有压力表接口。

5.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：伸长管上端外周设置法兰A，法兰上设置有均布有螺栓孔A，封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的螺栓孔B，螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置，封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接，封盖A与法兰A之间设置有密封圈。

6.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计，玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。

7.根据权利要求6所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：卸料口外周设置法兰B，法兰B上设置有均布有螺栓孔C，板外周设置有与螺栓孔C相配的螺栓孔D，螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置，封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接，封板与法兰B之间设置有密封圈。

8.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口。